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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种平面拼接大面积光栅装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119126283B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411543942.4，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种平面拼接大面积光栅装置和方法是由李星辉;高翔设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种平面拼接大面积光栅装置和方法在说明书摘要公布了：一种平面拼接大面积光栅装置和方法，该装置包括第一光束路径和第二光束路径以产生相干光束并形成曝光干涉场，待曝光的光栅基板接收此干涉场。装置中设有两个参考光栅，协同工作产生莫尔条纹，由莫尔条纹检测传感器监测，控制器根据监测结果通过光程差调整装置和光束方向调整装置对相位、倾斜和周期误差进行补偿。位移台装置移动光栅基板和光学元件，实现不同曝光区域的精确对接。第一参考光栅固定不动，而第二参考光栅随光栅基板沿Y方向移动。本发明能够进行多行拼接，打破了传统单行拼接的限制，提高了光栅加工的灵活性和应用范围，不仅提高了衍射效率，简化了光路设计，还降低了加工成本，并保证了良好的光栅拼接加工效果。

本发明授权一种平面拼接大面积光栅装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种平面拼接大面积光栅装置，其特征在于，包括： 第一光束路径和第二光束路径，用于提供相干光束并形成曝光干涉场； 待曝光的光栅基板，用于接收曝光干涉场； 第一参考光栅和第二参考光栅，用于产生莫尔条纹； 光程差调整装置，设置在第一光束路径上，用于调整两曝光光束之间的光程差，以补偿相位误差； 光束方向调整装置，设置在第一光束路径或第二光束路径上，用于调整曝光光束的空间方向，以补偿栅线周期与倾斜误差； 莫尔条纹检测传感器，用于监测由两曝光光束经参考光栅后形成的莫尔条纹； 位移台装置，包括第一位移台和第二位移台，所述第一位移台用于在X方向上移动与确定曝光区域的位置相关的光学元件以改变曝光区域的位置，所述第二位移台用于在Y方向上移动所述光栅基板和所述第二参考光栅，以实现所述光栅基板上不同曝光区域的精确对接和大面积光栅曝光区域的平面拼接；而所述第一参考光栅与所述光栅基板分离并保持固定不动； 控制器，用于根据莫尔条纹检测传感器的莫尔条纹变化对拼接误差进行补偿，通过控制光程差调整装置和光束方向调整装置，补偿拼接过程中引入的相位、倾斜和周期误差，以确保曝光区域的条纹相位、周期和倾角的连续性。

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