中国电子科技集团公司第四十八研究所叶文龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于电子束检测设备的可调光阑装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170468B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411264794.2，技术领域涉及：H01J37/15；该发明授权一种用于电子束检测设备的可调光阑装置是由叶文龙;肖晓雨;刘庆浩;龙会跃;谢辉;黄瑾设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电子束检测设备的可调光阑装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于电子束检测设备的可调光阑装置，包括：光阑基座组件、X轴驱动组件和Y轴驱动组件；光阑基座组件包括底座、连接座、光阑杆和馈电加热组件；Y轴驱动组件用于驱动光阑杆沿Y轴方向自主移动，X轴驱动组件用于驱动光阑杆沿X轴方向自主移动，X轴驱动组件通过Y轴运动座连接在Y轴驱动组件上，与Y轴驱动组件一起运动。连接座设置在底座上，底座与X轴驱动组件连接，馈电加热组件贯穿设置连接座中，馈电加热组件分别与电源和光阑杆连接，馈电加热组件用于对光阑杆进行电加热，以实现光阑杆上的光阑孔自清洁。本发明具有结构紧凑、操作简单、定位精度高、运行稳定且自动化程度高等特点，显著提高了光阑调整及光阑转换的效率。
本发明授权一种用于电子束检测设备的可调光阑装置在权利要求书中公布了：1.一种用于电子束检测设备的可调光阑装置，其特征在于，包括：光阑基座组件1、X轴驱动组件2和Y轴驱动组件3；所述光阑基座组件1包括底座4、连接座15、光阑杆5和馈电加热组件；所述Y轴驱动组件3用于驱动光阑杆5沿Y轴方向自主移动，X轴驱动组件2用于驱动光阑杆5沿X轴方向自主移动，X轴驱动组件2通过Y轴运动座31连接在Y轴驱动组件3上，与Y轴驱动组件3一起运动；所述连接座15设置在底座4上，所述底座4与X轴驱动组件2连接，馈电加热组件贯穿设置在连接座15中，馈电加热组件分别与电源和光阑杆5连接，馈电加热组件用于对光阑杆5进行电加热，以实现光阑杆5上的光阑孔自清洁。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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