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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利竖向晶圆搬运设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252778B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410038318.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权竖向晶圆搬运设备是由廉哲;王勇;谢智寅;唐仁伟设计研发完成，并于2024-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本竖向晶圆搬运设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种竖向晶圆搬运设备，包括：安装于一活动支架上的基板、安装于基板上表面的前载板、后载板和设置于基板下方的基座，所述基座一端的下方设置有一调节电机，该调节电机的输出轴竖直延伸至基座上方并与设置于前载板与后载板之间的转盘连接，所述转盘内开设有一腔体，用于与晶圆的下表面搭接接触的转盘的上表面开设有若干个各自与腔体连通的真空吸附孔，所述基座另一端的上表面并位于转盘的外侧安装有至少一个传感器。本发明既可以实现对晶圆的接驳、位置转移以及对晶圆位置的自动检测识别并调节，改善晶圆的位置精度，还可以有效避免晶圆随转盘转动过程中产生额外的位置偏移，进一步保证经过角度调节后晶圆的位置精度。

本发明授权竖向晶圆搬运设备在权利要求书中公布了：1.一种竖向晶圆搬运设备，包括：安装于一活动支架10上的基板1、安装于基板1上表面的前载板2、后载板3和设置于基板1下方的基座6，其特征在于：所述活动支架10安装于一竖向传送组件上，所述竖向传送组件包括：竖直延伸的壳体111、可转动地安装于壳体111上的丝杆112和套装于丝杆112上的活动螺母113，一安装于壳体111下端的驱动电机114的输出轴与丝杆112的下端连接，所述活动支架10安装于活动螺母113上； 所述基座6一端的下方设置有一调节电机7，该调节电机7的输出轴竖直延伸至基座6上方并与设置于前载板2与后载板3之间的转盘8连接，所述转盘8内开设有一腔体81，用于与晶圆的下表面搭接接触的转盘8的上表面开设有若干个各自与腔体81连通的真空吸附孔82，一真空发生器通过管路83与腔体81连通； 当所述活动支架10随竖向传送组件移动至第一位置时，所述前载板2、后载板3的上表面高于转盘8的上表面，当所述活动支架10随竖向传送组件移动至第二位置时，所述转盘8的上表面高于前载板2、后载板3的上表面，所述基座6另一端的上表面并位于转盘8的外侧安装有至少一个传感器9，所述晶圆100上形成有与所述传感器9对应的缺口101，所述传感器9与调节电机7、真空发生器电连接。

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