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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利晶圆接驳装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252779B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410039710.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆接驳装置是由廉哲;王勇;谢智寅;唐仁伟设计研发完成，并于2024-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆接驳装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆接驳装置，包括：可在竖直方向上移动的活动支架和固定设置的基座，所述活动支架的上表面安装有一基板，所述基板的上表面分别通过至少一组滑轨与滑块可活动地安装有前载板、后载板，所述基板的下表面并位于前载板与后载板之间安装有一电机，所述电机输出轴的上端穿过基板并依次安装有第一凸轮、第二凸轮，所述基座一端的下方设置有一调节电机，该调节电机的输出轴竖直延伸至基座上方并与设置于前载板与后载板之间的转盘连接。本发明既实现对晶圆的接驳和位置转移，又实现对晶圆位置的自动检测识别并调节，还在实现接驳的同时对晶圆进行对中调节和夹持定位，避免经过对中和角度校正后的晶圆位置发生偏移。

本发明授权晶圆接驳装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆接驳装置，包括：可在竖直方向上移动的活动支架14和固定设置的基座10，所述活动支架14的上表面安装有一基板1，所述基座10设置于该基板1下方，其特征在于：所述基板1的上表面分别通过至少一组滑轨41与滑块42可活动地安装有前载板2、后载板3，所述前载板2、后载板3各自的上表面均开设有一与所述晶圆100对应的弧形槽5且2个所述弧形槽5的侧壁相对设置； 所述基板1的下表面并位于前载板2与后载板3之间安装有一电机6，所述电机6输出轴的上端穿过基板1并依次安装有第一凸轮71、第二凸轮72，在竖直方向上间隔设置的所述第一凸轮71与第二凸轮72在周向上相差180°，所述前载板2上安装有一与所述第一凸轮71配合的第一轴承81，所述后载板3上安装有一与所述第二凸轮72配合的第二轴承82，所述前载板2与后载板3之间连接有至少一根弹簧9，使得所述第一凸轮71的凸起部与第一轴承81、第二凸轮72的凸起部与第二轴承82之间保持接触； 所述基座10一端的下方设置有一调节电机11，该调节电机11的输出轴竖直延伸至基座10上方并与设置于前载板2与后载板3之间的转盘12连接，当所述活动支架14在竖直方向上移动至第一位置时，所述前载板2、后载板3的上表面高于转盘12的上表面，当所述活动支架14在竖直方向上移动至第二位置时，所述转盘12的上表面高于前载板2、后载板3的上表面，所述基座10另一端的上表面并位于转盘12的外侧安装有至少一个传感器4，所述晶圆100上形成有与所述传感器4对应的缺口101，所述传感器4与调节电机11电连接。

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