浙江大学杭州国际科创中心王万堂获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119260483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411783897.X，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法是由王万堂;许彬杰;邵秦秦;王蓉;韩学峰;皮孝东;杨德仁设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法，所述碳化硅晶锭的加工方法包括：提供包括一价固体碱和固体含氧酸盐型氧化剂的化学改性剂并加热制成熔融混合液，将碳化硅晶锭的待处理面浸入熔融混合液中，然后进行平面机械磨削，将碳化硅晶锭的待处理面加工成平面。本发明的加工方法中，使用的熔融混合液可以使碳化硅晶锭的表面变得多孔疏松且硬度变软，降低机械磨削过程中的机械应力，同时，在机械磨削的过程中裸露出的新的表面会继续与熔融混合液进行反应，如此循环，最终能够获得相对平整、表面光滑无裂纹、应力较低的碳化硅晶锭，不仅加工效率极高，而且可以有效提高后续切片的成品率，实现高质量碳化硅衬底的制备。
本发明授权碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶锭的加工方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供化学改性剂，所述化学改性剂包括一价固体碱和固体含氧酸盐型氧化剂；将所述化学改性剂加热制成熔融混合液； 将碳化硅晶锭的待处理面浸入所述熔融混合液中，然后进行平面机械磨削，将碳化硅晶锭的待处理面加工成平面，其中，碳化硅晶锭的待处理面包括碳化硅晶锭的边缘和碳化硅晶锭呈现凸起状的端部，在进行平面机械磨削的过程中，碳化硅晶锭的待处理面与所述熔融混合液接触并进行反应，使碳化硅晶锭的待处理面变得多孔疏松且硬度变软。
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