中国电子科技集团公司第四十八研究所周亚林获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119380871B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411486115.6,技术领域涉及:G16C20/70;该发明授权基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法是由周亚林设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法,包括步骤:S1、获取卧式液相外延生长设备的恒温区内多个测量点的温度数据;S2、获取各温度数据中的最大值、最小值、平均值和标准差;同时将各温度数据与初始设定温度进行对比,得到偏差值;S3、将各温度数据中的最大值、最小值、平均值、标准差以及偏差值作为输入量输入至预先构建并训练好的强化学习训练策略模型中,得到各个温区的温度补偿值;其中强化学习训练策略模型预设有输入量与温度补偿值之间的映射关系。本发明具有操作简便、温度补偿快速精准等优点。
本发明授权基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法在权利要求书中公布了:1.一种基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法,其特征在于,包括步骤: S1、获取卧式液相外延生长设备的恒温区内多个测量点的温度数据; S2、获取各温度数据中的最大值、最小值、平均值和标准差;同时将各温度数据与初始设定温度进行对比,得到偏差值; S3、将各温度数据中的最大值、最小值、平均值、标准差以及偏差值作为输入量输入至预先构建并训练好的强化学习训练策略模型中,得到各个温区的温度补偿值;其中强化学习训练策略模型预设有输入量与温度补偿值之间的映射关系。
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