北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)赵扬获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)申请的专利一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119392170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411325679.1,技术领域涉及:C23C14/18;该发明授权一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法是由赵扬;于浩;袁满;罗萍萍;刘晴设计研发完成,并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法,属于电极加工技术领域。先将铜箔胶带粘贴在玻璃板上;然后将将两片载玻片分别置于预处理后的铜箔胶带表面,通过激光将微小的铜微颗粒溅射到载玻片上;之后将光学透明基底置于两片载玻片之间,采用激光扫描所需图案,铜颗粒被同时溅射至基底的上下表面,其作为化学镀的种子层;最后置于镀铜液中处理得到镜面对称铜电极。所述方法实现了透明基底的镜面对称铜电极的图案化。得到的对称铜电极中,两面的铜层致密,与基底结合牢固;电阻受弯曲和温度的影响小,并具有优异的导电性,可以用作传感器电极使用。
本发明授权一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种激光诱导图案化镜面对称铜电极的制备方法,其特征在于:方法步骤包括: 1将铜箔胶带分别平整的粘贴在两块玻璃板上,以20~30 kHz的激光脉冲频率对铜箔胶带进行激光预处理,然后将两片载玻片分别置于预处理后的铜箔胶带表面,之后以10~20 kHz的激光脉冲频率进行激光处理将铜微颗粒溅射到载玻片上,得到沉积有半透明铜膜的载玻片; 2将光学透明基底平整的置于两片沉积有半透明铜膜的载玻片之间,随后以50~60 kHz的激光脉冲频率按照所需电极图案对位于上层的沉积有半透明铜膜的载玻片表面进行激光扫描,两片载玻片上的铜颗粒被同时溅射至基底的上下表面,得到具有镜面对称图案化铜种子层的基底; 3将所述具有镜面对称图案化铜种子层的基底置于镀铜液中80~90℃下放置3~5分钟后取出,得到一种激光诱导图案化镜面对称铜电极; 其中,步骤2中,激光扫描时,位于上层的沉积有半透明铜膜的载玻片的透光率大于位于下层的沉积有半透明铜膜的载玻片。
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