江苏京创先进电子科技有限公司董文豪获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利研磨表面粗糙度控制方法、系统及研磨设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119407680B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411541176.8，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权研磨表面粗糙度控制方法、系统及研磨设备是由董文豪;童永娟;赵锋;孙志超设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨表面粗糙度控制方法、系统及研磨设备在说明书摘要公布了：本发明揭示了研磨表面粗糙度控制方法、系统及研磨设备。本发明的方法在研磨达到预期目标厚度时不是直接使磨轮以相对快的速度抬升复位，而是使磨轮原地继续研磨一段时间后再缓慢抬升微小的距离，接着再向下移动到之前的位置继续研磨一段时间后，再缓慢抬升到更高的高度后才快速复位，这样在最后阶段时，磨轮对晶圆施加较小的压力，从而可以有效减小磨轮和晶圆之间的摩擦，有利于获得更小的表面粗糙度，同时，由于是先将晶圆研磨到小于实际目标厚度的预期目标厚度，从而能够通过后续的继续研磨以达到实际目标厚度，且这样能够避免直接使磨轮抬升时，承片台因压力快速卸载而快速回弹造成型面变化造成晶圆与磨轮非正常研磨影响最终研磨质量的问题。
本发明授权研磨表面粗糙度控制方法、系统及研磨设备在权利要求书中公布了：1.研磨表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括如下步骤： S1,在研磨机构使承片台上的工件研磨到预期目标厚度时，使研磨机构的主轴保持当前高度继续研磨第一时长；所述预期目标厚度大于实际目标厚度； S2,使所述主轴以第一速度向上移动第一距离，在上移的过程中所述研磨机构继续研磨；所述第一距离不超过10微米，所述第一速度不大于使工件研磨到预期目标厚度时的进给速度； S3,使所述主轴以第二速度向下移动所述第一距离,在下移的过程中所述主轴继续研磨； S4,使所述主轴在当前高度继续研磨第二时长； S5,使所述主轴以第三速度上移第二距离后以大于所述第三速度的第四速度上移至等待位置，所述第二距离大于所述第一距离。
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