哈尔滨工业大学;上海微电子装备(集团)股份有限公司吴剑威获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学;上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种窗口高速扫描式曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119556533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411924985.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种窗口高速扫描式曝光装置是由吴剑威;郑健;宋赫男;张玉荣;周永松设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种窗口高速扫描式曝光装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种窗口高速扫描式曝光装置，涉及精密仪器技术领域。窗口高速扫描式曝光装置包括基础框架、遮光板、两个横向光阑片和两个纵向光阑片，基础框架包括镂空区域，遮光板与基础框架连接并遮盖镂空区域，遮光板背离镂空区域的一端为激光照射端，遮光板包括矩形窗口，两个横向光阑片位于遮光板和镂空区域之间，两个纵向光阑片位于遮光板背离两个横向光阑片的一端，遮光板上设置有水冷结构和氮气冷却结构。可以消除激光环境中的热辐射对两个横向光阑片和两个纵向光阑片的影响，从而避免两个横向光阑片和两个纵向光阑片在热辐射的作用下发生形变，以提高两组光阑片形成的透光矩形窗口的形状精度。
本发明授权一种窗口高速扫描式曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种窗口高速扫描式曝光装置，其特征在于，包括基础框架1、遮光板2、两个横向光阑片3和两个纵向光阑片4，所述基础框架1包括镂空区域11，所述遮光板2与所述基础框架1连接并遮盖所述镂空区域11，所述遮光板2背离所述镂空区域11的一端为激光照射端，所述遮光板2包括矩形窗口21，两个所述横向光阑片3位于所述遮光板2和所述镂空区域11之间，两个所述纵向光阑片4位于所述遮光板2背离两个所述横向光阑片3的一端，所述遮光板2上设置有水冷结构和氮气冷却结构，两个所述横向光阑片3用于沿所述矩形窗口21的长度相向或者相离移动，两个所述纵向光阑片4用于沿所述矩形窗口21的宽度相向或者相离移动。
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