株式会社荏原制作所山本健太郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀敷装置、以及镀敷方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119604647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202480003324.2,技术领域涉及:C25D17/02;该发明授权镀敷装置、以及镀敷方法是由山本健太郎;富田正辉设计研发完成,并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀敷装置、以及镀敷方法在说明书摘要公布了:抑制或防止配置于基板与阳极之间的各部件的形状、移动等转印至镀敷膜。镀敷装置具备:镀敷槽,用于保持镀敷液;基板保持器,以被镀敷面向下的方式保持基板;阳极,与上述基板对置配置;隔膜,配置于上述基板与上述阳极之间;以及隔膜支承部,按压上述隔膜的上表面,该隔膜支承部具有多个第1形状的开口和配置于该多个第1形状的开口的外侧的多个第2形状的开口,包含上述多个第1形状的开口的外接圆的中心从上述基板保持器的旋转中心偏心。
本发明授权镀敷装置、以及镀敷方法在权利要求书中公布了:1.一种镀敷装置,其中,所述镀敷装置具备: 镀敷槽,用于保持镀敷液; 基板保持器,以被镀敷面向下的方式保持基板; 阳极,与所述基板对置配置; 隔膜,配置于所述基板与所述阳极之间;以及隔膜支承部,按压所述隔膜的上表面,该隔膜支承部具有多个第1形状的开口和配置于该多个第1形状的开口的外侧的多个第2形状的开口,包含所述多个第1形状的开口的外接圆的中心从所述基板保持器的旋转中心偏心。
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