华海清科股份有限公司周斌获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119609901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411887791.4，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备是由周斌;孙新颖;王楠设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备，防液滴升降机构包括从外向内依次设置的套筒、导筒和升降杆，升降杆的上端部与套筒的顶面固定连接，带动套筒同步升降，导筒的外表面间隔、交错设置有多个阻挡块，用于阻挡液滴沿套筒和导筒之间的间隙进入导筒的上表面和引导液滴沿阻挡块的至少一个表面流下；从而有效阻挡液滴进入升降机构内部，降低了维护和清洁成本，防止升降机构损坏造成的停机维护，提高了晶圆生产效率和良率。
本发明授权防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种防液滴升降机构，其特征在于，包括从外向内依次设置的套筒、导筒和升降杆，所述升降杆的上端部与所述套筒的顶面固定连接，用于带动所述套筒同步升降，所述导筒的外表面间隔、交错设置有多个阻挡块，用于阻挡液滴沿所述套筒和所述导筒之间的间隙进入所述导筒的上表面和引导液滴沿所述阻挡块的至少一个表面流下。
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