北京航空航天大学钱建强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119619554B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411926968.7,技术领域涉及:G01Q60/38;该发明授权一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置是由钱建强;孙浩葳;冯铎;李英姿;陈亚楠;袁泉;林锐;程鹏;李永畅;胡依凡设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置,是利用机械约束将单端夹持的原子力显微镜的微悬臂探针系统改进为分段耦合约束的微悬臂探针系统。分段耦合约束的微悬臂探针系统由商用探针、探针托5A、压板5B和弹簧片5C组成,弹簧片5C的一端固定在压板5B的凹槽,另一端与横梁5D接触,用于夹紧探针衬底5G。本发明对商用探针施加一个分段耦合约束,商用探针受约束位置影响,动力学特性发生改变,系统产生耦合效应,进而增强了探针的高阶模态响应。
本发明授权一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置在权利要求书中公布了:1.一种原子力显微镜探针高阶模态增强装置,包括有原子力显微镜,其原子力显微镜包括有AFM控制器1、图形显示器2、扫描器3、样品台4、AFM探针激励器6、激光器8、光电探测器9、锁相放大器10和信号发生器11;其特征在于:所述原子力显微镜探针高阶模态增强装置还有分段约束耦合的微悬臂探针系统5; 分段耦合约束微悬臂探针系统5其由商用探针、探针托5A、压板5B和弹簧片5C组成;探针托5A安装在AFM探针激励器6的操作台上;探针托5A上固定有压板5B,弹簧片5C的一端固定在压板5B的B开口槽5B1处,弹簧片5C的另一端与探针衬底5G接触,弹簧片5C为商用探针工作时提供约束力;探针托5A的A开口槽5A3处设有横梁5D;横梁5D与弹簧片5C的另一端共同夹持探针衬底5G中部;探针托5A上还设有椭圆凹槽5A8,椭圆凹槽5A8位于探针托5A的A开口槽5A3的根部,A开口槽5A3用于放置探针衬底5G的尾部;探针托5A上的定位圆孔5A1用于放置AFM探针激励器6上的凸圆柱,椭圆定位孔5A2用于放置AFM探针激励器6上的凸椭圆柱; 锁相放大器10第一方面接收光电探测器9输出的检测控制信号;第二方面接收信号发生器11输出的第一模态参考信号;第三方面接收信号发生器11输出的第二模态参考信号;第四方面输出探针第一模态振幅信号;第五方面输出探针第二模态振幅信号; 原子力显微镜进行检测工作时,信号发生器11输出的解调参考信号以数字方式添加到锁相放大器10,锁相放大器10以信号发生器11输出的解调参考信号为基础开始解调工作; 在工作时锁相放大器10的解调频率设定为,;表示探针的第一本征模态频率;表示探针的第二本征模态频率; 所述锁相放大器利用和对接收到的检测控制信号进行解调放大处理后分别输出第一模态振幅信号和探针第二模态振幅信号; 所述的第一模态振幅信号是指探针运动在解调频率下的振幅,该信号经过图像处理器处理后得到样品表面的形貌图像; 所述的第二模态振幅信号是指探针运动在解调频率下的振幅,该信号经过图像处理器处理后得到样品表面关于探针第二模态振幅的图像。
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