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合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司卢荣胜获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请的专利光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119642722B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411877516.4,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法是由卢荣胜;葛诚;张腾达;谈士涛设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法,包括:1、获取光谱共焦标定光谱和透明材料重叠响应光谱;2、评估随机噪声分布,并得到强度检测阈值和形状系数;3、利用重叠响应光谱的二阶导数得到重叠响应初始峰值位置;4、计算重叠响应的广义高斯函数拟合初始参数;5、对重叠响应参数迭代,直到迭代前后拟合残差变化满足精度要求;6、丢弃不满足测量约束的重叠响应;7、重新执行步骤5和6,直到所有重叠响应均满足测量约束,并获取各重叠响应的峰值位置。本发明实现了光谱共焦重叠响应的分离,并改进了峰值定位精度,能够测量超薄多层透明材料的厚度。

本发明授权光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法在权利要求书中公布了:1.一种用于光谱共焦中超薄多层透明材料厚度测量的重叠响应分离和峰值定位方法,其特征在于,包括: S1,获取光谱共焦标定光谱和透明材料重叠响应光谱,并将所述透明材料重叠响应光谱划分为随机噪声光谱前波段、光谱共焦工作波段和随机噪声光谱后波段,其中,表示重叠响应光谱的波长起点,表示重叠响应光谱的波长终点,表示光谱共焦工作波段的波长起点,表示光谱共焦工作的波长终点,并满足; S2,根据随机噪声光谱前波段和随机噪声光谱后波段内的光谱均值和标准差,评估透明材料重叠响应光谱中的随机噪声分布; 根据透明材料重叠响应光谱的均值和随机噪声分布,利用式1得到强度检测阈值;   1利用广义高斯函数对所述光谱共焦标定光谱进行拟合,并将最小残差所对应的拟合结果的形状系数作为中任一重叠响应的形状系数; S3,对所述重叠响应光谱内强度高于所述强度检测阈值的光谱进行差分求导,获得二阶导数,以二阶导数极小点的位置作为中任意第个重叠响应的初始峰值位置,其中,,表示重叠响应的个数;S4,计算个重叠响应的广义高斯函数拟合初始参数,其中,第个重叠响应的初始参数记为,其中,、、分别为第个重叠响应的初始峰值强度、初始中心波长和初始标准差; S5,对个重叠响应的初始参数进行Levenberg‑Marquardt迭代,直到迭代前、后的拟合残差变化满足精度要求为止,从而得到个重叠响应的最终参数,其中,第个重叠响应的最终参数记为,其中,、、分别为第个重叠响应经次迭代后的峰值强度、经次迭代后的中心波长、经次迭代后的标准差; S6,判断式2是否成立,若成立,则继续判断下一个峰值强度和中心波长的判断,否则,丢弃后,执行S7;   2S7,按照S5和S6的过程对丢弃后剩余的重叠响应的最终参数进行处理,直至所有重叠响应的最终参数均满足式2为止,从而将满足式2的最终参数中的每个中心波长作为中相应重叠响应的峰值位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司,其通讯地址为:230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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