北京理工大学王姗姗获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119687824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411547481.8,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法是由王姗姗;刘欣设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法在说明书摘要公布了:一种基于零位补偿法的扁椭球面反射镜面形检测方法,属于光学检测领域。本发明实现方法为:将带孔平板置于扁椭球面镜前方,带孔平板与椭球面镜的距离是椭球面镜母线的短轴长度;带孔平板带有3个处于同一水平面的等距孔洞,第一孔位与第二孔位的间距为椭球面镜两个焦点的间距,第三孔位位于第一孔位与第二孔位连线中点处;基于辅助光学平板确定扁椭球面镜的短轴方向与两个焦点的空间位置,令干涉仪发出的球面波焦点与待测椭球面的一个焦点重合,使标准球面镜的球心与椭球面镜的另一个焦点重合,干涉仪发出的光经过椭球面镜反射后汇聚到另一个焦点,经球面镜反射后原路返回,从而形成零位检测,处理形成的干涉条纹得到待测椭球面镜的面形误差。
本发明授权一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法,其特征在于:包括如下步骤,步骤一:将带孔平板置于扁椭球面镜前方,带孔平板与椭球面镜的距离是椭球面镜母线的短轴长度;所述带孔平板带有3个处于同一水平面的等距孔洞,第一孔位与第二孔位的间距为椭球面镜两个焦点的间距,第三孔位位于第一孔位与第二孔位连线中点处;窗口玻璃固定于中间的孔洞处; 步骤二:调整带孔平板的安装位置:激光从窗口玻璃入射,窗口玻璃表面会将部分光反射回去,调整带孔平板俯仰角与方位角,直至反射光原路返回,此时代表着带孔平板平面的法线与光轴平行; 步骤三:调整扁椭球面镜的安装姿态:令透过窗口玻璃的激光束打到扁椭球面镜的几何中心点处,调节扁椭球面镜的俯仰角与方位角,直至扁椭球面镜的反射光原路返回,此时代表着椭球面镜中心处法线与光轴平行; 步骤四:将干涉仪出射的球面波焦点与带孔平板的第一孔位重合; 步骤五:将标准球面镜的球心与带孔平板的第二孔位重合;所述标准球面镜的相对口径大于扁椭球面镜; 步骤六:开始面形测量,干涉仪发出的测量光束聚焦于第一孔位处,然后入射到扁椭球面镜,测量光反射后汇聚于第二孔位处,再经过标准球面镜反射后原路返回,携带着面形误差信息的测量光束返回至干涉仪中与参考光形成干涉产生干涉条纹,干涉条纹图像经干涉仪处理后得到待测椭球面镜的面形误差。
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