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龙图腾网获悉四川省产业计量测试研究院申请的专利一种单片垂直集成传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714405B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411738019.6，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权一种单片垂直集成传感器及其制备方法是由赵志强设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单片垂直集成传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种单片垂直集成传感器及其制备方法，所述单片垂直集成传感器包括第一衬底、第二衬底、压力单元、湿度单元以及温度单元，所述湿度单元设于第二衬底的顶部，所述压力单元、温度单元分别设于第一衬底的顶部，所述压力单元、温度单元、湿度单元之间电连接；所述第一衬底设于第二衬底的底部，第一衬底的底部设有第一腔体，第二衬底的底部设有与第一腔体匹配的第二腔体，第一衬底与第二衬底热压键合形成真空腔。其目的在于，解决单片集成传感器尺寸较大的技术问题，提升集成传感器的性能。

本发明授权一种单片垂直集成传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种单片垂直集成传感器，其特征在于，所述单片垂直集成传感器包括第一衬底、第二衬底、压力单元、湿度单元以及温度单元，所述湿度单元设于第二衬底的顶部，所述压力单元、温度单元分别设于第一衬底的顶部，所述压力单元、温度单元、湿度单元之间电连接； 所述第一衬底设于第二衬底的底部，第一衬底的底部设有第一腔体，第二衬底的底部设有与第一腔体匹配的第二腔体，第一衬底与第二衬底热压键合形成真空腔；所述第一衬底的顶部依次设有第一绝缘层、第一金属薄膜层、第二绝缘层以及第一导电层，所述温度单元和压力单元设于第一金属薄膜层上，第一导电层分别与温度单元、压力单元之间电连接；所述第一导电层上设有第一金属焊盘和第一金属连接线，第一金属焊盘通过第一金属连接线与压敏电阻、温度电阻电连接；所述第二衬底的顶部依次设有第三绝缘层、第二金属薄膜层、第四绝缘层以及第二导电层，所述第二金属薄膜层上通过湿敏叉指电极结构形成湿度单元，所述第二导电层上设有第二金属焊盘和第二金属连接线，所述第二金属焊盘通过第二金属连接线与湿度单元电连接；所述第二衬底上设有若干个硅通孔，若干个所述硅通孔贯穿第二衬底并与第一金属焊盘、第二金属焊盘对齐，若干个所述硅通孔内填充有中心导体，所述中心导体分别与第一导电层、第二导电层电连接，若干个所述硅通孔的顶部分别设有焊球；所述中心导体与第二衬底的内壁之间设有第五绝缘层；所述中心导体与第五绝缘层的之间还设有阻挡层，用于阻止中心导体向第二衬底泄露。

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