南方电网数字电网研究院股份有限公司田兵获国家专利权
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龙图腾网获悉南方电网数字电网研究院股份有限公司申请的专利SF6分解物传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119757511B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411955957.1，技术领域涉及：G01N27/68；该发明授权SF6分解物传感器及其制备方法是由田兵;赵继光;谭则杰;徐振恒;骆柏锋;吕前程;赵雅茜;张勇;彭愈琦;王睿哲设计研发完成，并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本SF6分解物传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种SF6分解物传感器及其制备方法。SF6分解物传感器包括依次层叠设置的第一电极、第二电极和第三电极；第一电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第一电极上设置有至少一个通孔；第二电极靠近第一电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第二电极上设置有至少一个通孔；第三电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第三电极上设置有凹槽；其中，各电极上的微米柱阵列中的各微米柱的材料均是SU‑8光刻胶和硅材料的复合物；第一电极和第二电极之间设置有第一支撑件，以隔离第一电极和第二电极；第二电极和第三电极之间设置有第二支撑件，以隔离第二电极和第三电极。本方案的SF6分解物传感器灵敏度较高。
本发明授权SF6分解物传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种SF6分解物传感器，其特征在于，所述SF6分解物传感器包括依次层叠设置的第一电极、第二电极和第三电极； 所述第一电极靠近所述第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且所述第一电极上设置有至少一个通孔；所述第二电极靠近所述第一电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且所述第二电极上设置有至少一个通孔；所述第三电极靠近所述第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且所述第三电极上设置有凹槽；其中，各电极上的微米柱阵列中的各微米柱的材料均是SU‑8光刻胶和硅材料的复合物； 所述第一电极和所述第二电极之间设置有第一支撑件，以隔离所述第一电极和所述第二电极；所述第二电极和所述第三电极之间设置有第二支撑件，以隔离所述第二电极和所述第三电极。
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