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龙图腾网获悉核工业西南物理研究院申请的专利一种用于微孔内壁镀膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119800280B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510294765.9，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权一种用于微孔内壁镀膜的方法是由陈美艳;唐德礼;刘旋;张悦;钟利;姚可设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于微孔内壁镀膜的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于微孔内壁镀膜的方法，涉及微电子封装技术领域，包括以下步骤：第一阶段，工件与离子源相对放置，开启非对称双极性脉冲电源，同时开启离子源和电子枪电源，开始沉积金属层；第二阶段，加大非对称双极性脉冲电源的负脉冲幅值和脉宽，同时增大电子枪电流；第三阶段，进一步加大非对称双极性脉冲电源的负脉冲幅值和脉宽，加速沉积，金属膜厚度满足电镀要求，镀膜结束，微孔上下端口电阻降低至200Ω以下。离子源和电子枪提供的中性等离子体，叠加非对称双极性脉冲偏压电源，通过电子—离子耦合效应，解决了微孔内镀层附着力和覆盖率不足的技术问题，提升孔内膜层质量，实现表面和孔内金属一体化。

本发明授权一种用于微孔内壁镀膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于微孔内壁镀膜的方法，其特征在于，包括以下步骤： 镀膜第一阶段：首先开启非对称双极性脉冲电源，然后同时开启离子源和电子枪电源，在基板表面和微孔内部覆盖金属层，整体为弱导电性时，镀膜进入第二阶段；所述非对称双极性脉冲电源的两极分别连接工件和真空室壁； 其中，非对称双极性脉冲电源的工作参数为： 负脉冲：工作电压为100V～300V，脉冲宽度为20μs～100μs； 正脉冲：工作电压为10～20V，脉冲宽度为20μs～60μs； 镀膜第二阶段：加大非对称双极性脉冲电源的负脉冲幅值和脉宽，同时增大电子枪电流，表面和微孔内部导电性进一步提升后，镀膜进入第三阶段； 其中，非对称双极性脉冲电源的工作参数为： 负脉冲：工作电压为600V～800V，脉冲宽度为300μs～400μs； 正脉冲电压和脉宽与镀膜第一阶段相同； 镀膜第三阶段：进一步加大非对称双极性脉冲电源的负脉冲幅值和脉宽，加速沉积，金属膜厚度进一步增长，电阻降低至200Ω以下； 其中，非对称双极性脉冲电源的工作参数为： 负脉冲：工作电压为900V～1200V，脉冲宽度为400μs～450μs； 正脉冲：工作电压为20V～80V，脉冲宽度为20μs～40μs； 所述微孔深径比大于10:1。

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