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西安电子科技大学元磊获国家专利权

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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利基于非对称P+屏蔽层的SiC MOSFET器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119815885B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411916534.9,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权基于非对称P+屏蔽层的SiC MOSFET器件及其制备方法是由元磊;黄海超;贾仁需;张玉明设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

基于非对称P+屏蔽层的SiC MOSFET器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于非对称P+屏蔽层的SiCMOSFET器件及其制备方法,属于半导体技术领域。该器件包括:N+衬底和位于N+衬底上的N‑外延层;在N‑外延层内,沿第一方向设置有P阱区;P阱区位于N‑外延层背离N+衬底的一侧,且距N‑外延层的底部有一定空间,以形成器件的漂移区;其中,P阱区包括第一P阱区和第二P阱区,且两者间隔排布;第一方向为垂直于N‑外延层厚度的方向;第二P阱区的底部两侧设有P+屏蔽层;P+屏蔽层与第二P阱区相连,并自第二P阱区下边缘所在的水平位置向上延伸至N‑外延层内部,以形成三维的非对称的深P阱结构。该结构设计降低了由于短沟道引起的泄漏电流,提升了器件的短路耐受能力。

本发明授权基于非对称P+屏蔽层的SiC MOSFET器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于非对称P+屏蔽层的SiC MOSFET器件,其特征在于,包括:N+衬底1和位于所述N+衬底1上的N‑外延层2; 在所述N‑外延层2内,沿第一方向设置有P阱区3;所述P阱区3位于所述N‑外延层2背离所述N+衬底1的一侧,且距所述N‑外延层2的底部有一定空间,以形成器件的漂移区;其中,所述P阱区3包括第一P阱区3a和第二P阱区3b,且两者间隔排布;所述第一方向为垂直于所述N‑外延层2厚度的方向; 所述第二P阱区3b的底部两侧设有P+屏蔽层4;所述P+屏蔽层4与所述第二P阱区3b相连,并自所述第二P阱区3b下边缘所在的水平位置向上延伸至所述N‑外延层2内部,以形成三维的非对称的深P阱结构; 所述P+屏蔽层4的正上方设置有JFET浅注入区5;所述JFET浅注入区5自所述N‑外延层2的上表面向下延伸,并与所述P+屏蔽层4之间具有一定间距; 所述JFET浅注入区5靠近所述第一P阱区3a的一侧设有JFET深注入区6;所述JFET深注入区6包括第一深注入区6a和第二深注入区6b;所述第一深注入区6a与所述JFET浅注入区5紧邻设置,并自所述N‑外延层2的上表面向下延伸至与所述JFET浅注入区5相同的深度;所述第二深注入区6b自所述第一深注入区6a的下边缘向下延伸至与所述P+屏蔽层4相同的深度,并与所述P+屏蔽层4相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安电子科技大学,其通讯地址为:710071 陕西省西安市太白南路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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