中南大学徐云浪获国家专利权
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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119830475B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411905470.2,技术领域涉及:G06F30/17;该发明授权一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构是由徐云浪;孙锦烽;周海波设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构,包括如下步骤:对晶圆传输机械手指结构建立数学模型;S2,设定结构参数的约束条件和取值范围;S3,构建目标函数;S4,通过优化方法获得目标函数的最优解以获取最优结构参数。本发明通过建立晶圆传输机械手指结构的数学模型,并定义体积函数,能够精确计算和预测结构的体积,从而在设计阶段就对体积进行优化,减少不必要的材料使用,降低结构重量;优化后的机械手指结构由于重量减轻,能够减少在运动过程中的惯性,从而提高传输效率和响应速度,减少能耗,减少惯性晃动,提高传输精度和稳定性。
本发明授权一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆传输机械手指结构的优化方法,其特征在于,包括如下步骤: S1,对晶圆传输机械手指结构建立数学模型:,为晶圆传输机械手指结构的体积,为晶圆传输机械手指结构的结构参数集合;为晶圆传输机械手指结构的体积函数; S2,设定结构参数的约束条件和取值范围; S3,构建目标函数,为求最小值函数; S4,通过优化方法获得目标函数的最优解以获取最优结构参数; 步骤S4,具体包括: S41,建立一个初始种群,其中是种群的数量,是第G代的第个个体的向量,;具有D个维度的分量,每个维度的分量对应一个种类的结构参数,=,D为结构参数的种类数量;G为迭代次数,G的初始值为0,初始种群的迭代次数为0; S42,从最新一代种群中选取最优个体;所有最新一代种群的个体都根据学习法则向最优个体学习获得学习后的个体;比较和的适应值,将适应值低的作为新一代种群中的个体; S43,新一代种群所有的个体根据学习法则进行互相学习,获得学习后的个体; 比较和的适应值,将适应值低的个体作为新一代种群的个体; S44,将新一代种群的个体进行随机比例优化获得新个体,比较和的适应值,将适应值低的个体作为新一代种群的个体;更新值,,并判断G值是否小于迭代阈值:若是,则返回步骤S42,若否,则停止迭代,选出最新种群中适应值最高的个体作为最优个体,最优个体对应的结构参数为最优结构参数。
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