广东省大湾区集成电路与系统应用研究院邢彦文获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利相位解包裹方法、装置、设备、介质以及产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119850532B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411882676.8,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权相位解包裹方法、装置、设备、介质以及产品是由邢彦文;刘建设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本相位解包裹方法、装置、设备、介质以及产品在说明书摘要公布了:本发明公开了一种相位解包裹方法、装置、设备、介质以及产品。其中,该方法包括:获取与晶圆表面对应的待处理干涉条纹图像以及解包裹操作提示信息;其中,解包裹操作提示信息用于提示相位提取和相位解包裹的逻辑推理过程、中间推理结果以及异常相位跳变的判别方式;根据预先训练得到的解包裹图像生成模型对待处理干涉条纹图像和解包裹操作提示信息进行处理,并获得与待处理干涉条纹图像对应的解包裹图像,以基于解包裹图像确定与晶圆表面对应的面形信息。本发明实施例的技术方案,实现了在对相位图像进行相位解包裹的过程中,对所产生的异常相位跳变进行有效处理,并生成精度更高的解包裹图像的效果。
本发明授权相位解包裹方法、装置、设备、介质以及产品在权利要求书中公布了:1.一种相位解包裹方法,其特征在于,包括: 获取与晶圆表面对应的待处理干涉条纹图像以及解包裹操作提示信息;其中,所述解包裹操作提示信息用于提示相位提取和相位解包裹的逻辑推理过程、中间推理结果以及异常相位跳变的判别方式; 根据预先训练得到的解包裹图像生成模型对所述待处理干涉条纹图像和所述解包裹操作提示信息进行处理,并获得与所述待处理干涉条纹图像对应的解包裹图像,以基于所述解包裹图像确定与所述晶圆表面对应的面形信息; 其中,所述解包裹图像生成模型至少包括特征提取子模型、解包裹特征生成子模型、相位展开特征生成子模型和特征转换子模型;所述特征提取子模型用于提取所述待处理干涉条纹图像的图像特征;所述解包裹特征生成子模型用于依据所述解包裹操作提示信息生成解包裹操作提示向量;所述相位展开特征生成子模型用于基于所述图像特征和所述解包裹操作提示向量生成与所述待处理干涉条纹图像对应的相位展开图像特征;所述特征转换子模型用于将所述相位展开图像特征转换为所述待处理干涉条纹图像对应的解包裹图像。
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