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中国科学院苏州生物医学工程技术研究所贾晨获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院苏州生物医学工程技术研究所申请的专利一种离子束截面抛光装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119897754B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510161043.6,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权一种离子束截面抛光装置及方法是由贾晨;顾国刚;尉东光设计研发完成,并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种离子束截面抛光装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种高效的离子束截面抛光方法及装置,包括离子源、第一聚焦模块、第二聚焦模块;其中,所述离子源用于产生离子束;所述第一聚焦模块用于对所述离子束聚焦,以提高离子束的束流密度,并初步调整离子束的形状和发散度;经过所述第一聚焦模块聚焦的离子束进入所述第二聚焦模块,所述第二聚焦模块对离子束进行单向聚焦,在另一个方向上使离子束发散,从而形成一个细长椭圆形离子束斑,以照射到待抛光的样品表面,实现高效的离子束截面抛光。本发明能够显著提升有效作用区域内的离子束流密度,从而提高抛光效率。本装置结构简单,易于集成到现有的离子束抛光设备中,具有广泛的应用前景。

本发明授权一种离子束截面抛光装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种离子束截面抛光装置,其特征在于:包括离子源、第一聚焦模块、第二聚焦模块; 其中,所述离子源用于产生离子束; 所述第一聚焦模块用于对所述离子束聚焦,以提高离子束的束流密度,并初步调整离子束的形状和发散度; 经过所述第一聚焦模块聚焦的离子束进入所述第二聚焦模块,所述第二聚焦模块对离子束进行单向聚焦,在另一个方向上使离子束发散,从而形成一个长条形离子束斑,以照射到待抛光的样品表面,实现均匀高效的离子束截面抛光; 所述第一聚焦模块被配置为Einzel透镜; 所述第二聚焦模块被配置为四极子透镜,所述四极子透镜通过其产生的非均匀电场,对所述离子束进行单向聚焦。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,其通讯地址为:215163 江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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