北京市科学技术研究院袁文平获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京市科学技术研究院申请的专利一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932503B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510383485.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置是由袁文平;姜其立;欧伊翔;酆毅;吕应明;郭光明;成元彬;王婷;单瑞设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置，包括：安装支架；旋转驱动部，位于驱动轴的一侧设有第一连接部，用于将旋转驱动部与气缸一端连接；靶材，为圆柱状中空结构，且一端与旋转驱动部的驱动轴连接；靶材两端分别连接有进液管和出液管，靶材内部设有冷却液；磁铁，为圆柱状，设于靶材中，且一端与旋转驱动部的驱动轴连接；磁铁浸泡于冷却液中；腔室，设有第二连接部，用于将腔室与气缸另一端连接；腔室连接抽真空装置和供气装置，腔室上设有用于对气缸的内部抽真空或供气的通孔；电源，与靶材、气缸连接。该磁控溅射装置，可对气缸的内表面进行均匀的磁控溅射，沉积纳米涂层，提高镀膜的效果，可适用于大长径比的气缸的镀膜。
本发明授权一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种用于气缸内表面涂层制备的磁控溅射装置，其特征在于，包括： 安装支架； 旋转驱动部，设于所述安装支架上；所述旋转驱动部的位于驱动轴的一侧设有第一连接部，所述第一连接部用于将所述旋转驱动部与气缸的一端连接； 靶材，所述靶材为圆柱状中空结构；所述靶材的一端与所述旋转驱动部的驱动轴连接； 所述靶材的两端分别连接有进液管和出液管，所述靶材内部设有冷却液； 磁铁，所述磁铁为圆柱状，设于所述靶材中，所述磁铁的一端与所述旋转驱动部的驱动轴连接；所述磁铁浸泡于所述靶材内部的冷却液中； 腔室，所述腔室上设有第二连接部，所述第二连接部用于将所述腔室与所述气缸的另一端连接；所述腔室连接有抽真空装置和供气装置，所述腔室上设有通孔，用于通过通孔对所述气缸的内部抽真空或供气； 电源，所述电源的两极分别与所述靶材、所述气缸连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京市科学技术研究院，其通讯地址为：100089 北京市海淀区西三环北路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励