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北京屹唐半导体科技股份有限公司韩愈获国家专利权

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龙图腾网获悉北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利组装工装及组装工装系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119952649B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510307484.2,技术领域涉及:B25B27/00;该发明授权组装工装及组装工装系统是由韩愈;刘春峰设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

组装工装及组装工装系统在说明书摘要公布了:本公开提供一种组装工装及组装工装系统,涉及半导体制造领域。组装工装包括:底座;固定臂,固定臂的第一端与底座的上表面连接,固定臂的第二端沿垂向方向向上延伸;安装臂,安装臂的第一端与固定臂的第二端连接,且安装臂的第二端沿水平方向延伸;插接组件;插接组件包括活动件、连接件及插接件;活动件与安装臂可活动地连接;连接件用于装配在腔体上;插接件将活动件与连接件可拆卸连接。本实施例提供的组装工装通过配置固定臂可以提升作业高度,提供开放的作业空间,使工作人员可以直立作业,安装过程灵活,提高工作效率;通过配置安装臂承载腔体,可以提高组装工装的刚性,提高安装精度。

本发明授权组装工装及组装工装系统在权利要求书中公布了:1.一种组装工装,用于组装半导体工艺处理设备中的腔体,所述组装工装包括: 底座,沿垂向方向相对设置有上表面和下表面,所述垂向方向平行于所述腔体的轴向; 固定臂,所述固定臂的第一端与所述底座的上表面连接,所述固定臂的第二端沿所述垂向方向向上延伸; 安装臂,所述安装臂的第一端与所述固定臂的第二端连接,且所述安装臂的第二端沿水平方向延伸;其中,所述水平方向垂直于所述垂向方向; 插接组件,用于将所述腔体配置在所述安装臂上;所述插接组件包括活动件、连接件及插接件;所述活动件与所述安装臂可活动地连接;所述连接件用于装配在所述腔体上;所述插接件将所述活动件与所述连接件可拆卸连接; 所述插接件包括头部、插杆以及锁止部;所述头部与所述插杆的一端连接;所述插杆用于穿设于所述活动件及所述连接件中,所述锁止部与所述插杆背离所述头部的一端配合,且所述锁止部和头部夹持所述活动件及连接件;所述锁止部包括弹性凸起部,所述弹性凸起部具有至少两个,且所述弹性凸起部沿所述插杆的周向均匀分布;或者,所述锁止部包括螺母;所述插杆设置有与所述螺母配合的螺纹段。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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