南京拓展科技有限公司王靖凯获国家专利权
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龙图腾网获悉南京拓展科技有限公司申请的专利一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119993862B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510016806.8,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法是由王靖凯;黄森;王凯健;陆青清;王辉设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法在说明书摘要公布了:本发明提出了一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法,属于精密环境调控领域,所述方法包括如下步骤:在预设空间的边界点上布设环境数据采集传感器和环境调控单元,通过环境数据采集传感器对预设空间中的环境参数进行定时监测,并将正在监测的空间进行区域划分,在每个区域中进行阵列分割,根据调整精度调整阵列分割数量;在每个阵列分割的区域中标定环境关联检测点,所述环境关联检测点将环境数据采集传感器和环境调控单元收集数据进行规整,并计算每个环境关联检测点与环境数据采集传感器之间的间距,将每个环境关联检测点与数据采集传感器的相对位置数据以及数据采集传感器采集的环境参数反馈至后台服务器内。
本发明授权一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法在权利要求书中公布了:1.一种用于芯片半导体的精密环境控制调整方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤: 在预设空间的边界点上布设环境数据采集传感器和环境调控单元,通过环境数据采集传感器对预设空间中的环境参数进行定时监测,并将正在监测的空间进行区域划分,在每个区域中进行阵列分割,根据调整精度调整阵列分割数量; 在每个阵列分割的区域中标定环境关联检测点,所述环境关联检测点将环境数据采集传感器和环境调控单元收集数据进行规整,并计算每个环境关联检测点与环境数据采集传感器之间的间距,将每个环境关联检测点与数据采集传感器的相对位置数据以及数据采集传感器采集的环境参数反馈至后台服务器内; 在后台服务器对预设空间内进行存储或加工的芯片半导体的环境需求参数进行预存,并将存储或加工的具体位置与环境关联检测点进行匹配,并将匹配区域中的芯片半导体的环境需求参数与环境关联检测点进行对应连接,在对应连接后记录该环境关联检测点的环境参数变化值; 后台服务器内置有根据环境关联检测点与环境数据采集传感器之间距离生成的环境参数衰减表,并根据环境参数衰减表实时向环境调控单元发送控制指令,通过环境调控单元对预设空间内的环境参数进行微调,并在调整的同时,建立相邻环境关联检测点的环境参数数据变化配比表,环境调控单元根据环境参数数据变化配比表选取中点平衡参数进行输出调控。
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