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龙图腾网获悉安徽双峰新材料有限公司申请的专利一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120041775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510107582.1，技术领域涉及：C23C4/134；该发明授权一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法是由任国梁;赵晓峰;王洁;王坤设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法，通过引入Al、Sc、Yb、La等元素，并与氧化钇形成熵稳定材料，优化其化学组成及晶相结构，从而制备具有高致密性、高结合强度以及优异抗刻蚀性能的涂层。通过采用改进的喷雾造粒工艺，制备粒度可控且分布范围窄的粉体，并结合悬浮液等离子喷涂技术，实现涂层的均匀性、致密性和低表面粗糙度。本发明的涂层材料在极端工作环境中，兼具高温稳定性、化学惰性以及优异的抗刻蚀性能，能够满足半导体制造、光刻设备等高端精密设备的长期稳定运行需求，为这些设备提供可靠的保护解决方案。因此，本发明不仅推动了氧化钇材料在抗刻蚀涂层领域的应用进展，还有效提升了相关领域中涂层的性能与可靠性。

本发明授权一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种抗刻蚀陶瓷涂层材料的制备方法，其特征在于，步骤如下： S1、将高纯度氧化钇Y2O3与氧化钪Sc2O3或者氧化镱Yb2O3或者氧化铝Al2O3或者氧化镧La2O3根据化学计量比，按摩尔比混合形成多元稳定体组合物； S2、在多元稳定体组合物中加入ZrO2球磨珠，以乙醇或去离子水为分散介质充分球磨1‑8小时，形成浆料； S3、将球磨后的浆料干燥至恒重，采用200目筛网进行筛分； S4、配制含固量为20‑40wt％的浆料，调整浆料黏度至10‑50mPa·s； S5、对经过步骤S4处理的浆料用喷雾干燥设备进行造粒，获得粒径分布为0.5μm‑50μm的颗粒粉末； S6、将喷雾造粒后的粉体分散于乙醇‑水混合溶液，并添加分散剂，使用超声分散设备处理15‑60分钟，并配合磁力搅拌，确保悬浮液均匀分散； S7、选用基底材料，通过喷砂或化学清洗处理以提高表面粗糙度； S8、采用悬浮液等离子喷涂设备，将步骤S6获得的悬浮液喷涂在基底材料上，喷涂过程中，控制涂层厚度为30‑200μm，喷涂速率为5‑30μmmin，喷涂后，进行高温烧结处理，保温1‑8小时，然后以5‑10℃min的速率冷却至室温形成陶瓷涂层材料。

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