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龙图腾网获悉湖北江城实验室申请的专利晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120063119B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510535728.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构是由邵任之设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构，对准量测装置包括：光源组件、分光件、偏振件和成像组件；光源组件用于提供沿第二方向传播的原始光线；分光件用于基于偏振方向反射原始光线；其中，反射的光线为具有第一偏振方向的第一光线；第一光线沿第一方向经偏振件传播至位于第一晶圆的第一对准标记，并透过第一晶圆传播至位于第二晶圆的第二对准标记；经第一对准标记和第二对准标记反射的第二光线经偏振件后具有第二偏振方向；具有第二偏振方向的第二光线沿第三方向透射分光件传播至成像组件；成像组件用于采集第二光线形成的第一莫尔条纹；第一莫尔条纹用于确定第一对准标记和第二对准标记是否对准。

本发明授权晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准量测装置，其特征在于，包括：光源组件、分光件、偏振件和成像组件； 其中，所述成像组件、所述分光件和所述偏振件依次沿第一方向排布；所述光源组件与所述分光件沿第二方向排布；其中，所述第一方向和所述第二方向具有第一夹角； 所述光源组件用于提供沿所述第二方向传播的原始光线； 所述分光件用于基于偏振方向反射所述原始光线；其中，反射的光线为具有第一偏振方向的第一光线； 所述第一光线沿所述第一方向经所述偏振件传播至位于第一晶圆的第一对准标记，并透过所述第一晶圆传播至位于第二晶圆的第二对准标记；其中，所述第一晶圆还包括第一硅衬底和至少一层第一透射层；所述第一对准标记位于所述第一透射层靠近所述第一硅衬底的一侧；或者所述第一对准标记位于所述第一透射层远离所述第一硅衬底的一侧；所述第二晶圆还包括第二硅衬底和至少一层第二透射层；所述第二对准标记位于所述第二透射层靠近所述第二硅衬底的一侧，或者所述第二对准标记位于所述第二透射层远离所述第二硅衬底的一侧； 经所述第一对准标记和所述第二对准标记反射的第二光线经所述偏振件后具有第二偏振方向；所述第二偏振方向与所述第一偏振方向不相同； 所述具有第二偏振方向的第二光线沿第三方向透射所述分光件传播至所述成像组件； 其中，所述第三方向与所述第一方向相反；所述成像组件用于采集所述第二光线形成的第一莫尔条纹；所述第一莫尔条纹用于确定所述第一对准标记和所述第二对准标记是否对准。

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