楚赟精工科技(上海)有限公司刘永明获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利一种气相沉积室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120210783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510423365.3，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种气相沉积室是由刘永明设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积室在说明书摘要公布了：本申请提供一种气相沉积室，包括生长腔室、承载座、轴体、承载盘、倾斜支撑机构和源气注入装置，轴体固设于承载座中部，轴体顶部突出于承载座顶面，承载座顶面设置的第一凹槽靠近轴体的一侧侧壁开口；承载盘容纳于第一凹槽，承载盘包括活动端部和自由端部，活动端部经第一凹槽的一侧侧壁开口与轴体顶部活动适配；倾斜支撑机构设于承载座，包括介质供应管路和设于自由端部下方的活动支撑部，活动支撑部的抬升或下降带动自由端部相对活动端部抬升或下降，当源气注入装置向待镀膜衬底提供源气的来流方向由活动端部指向自由端部时，倾斜支撑结构使自由端部抬升时，可以调整源气在待镀膜衬底上沉积时的耗尽趋势，提高待镀膜衬底膜层厚度的均匀性。
本发明授权一种气相沉积室在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积室，其特征在于，包括： 生长腔室； 承载座，设于所述生长腔室内，顶面设置有第一凹槽，所述第一凹槽的一侧侧壁开口； 轴体，固定设于所述承载座中部，所述轴体顶部突出于所述承载座顶面，所述第一凹槽的一侧侧壁开口靠近所述轴体顶部； 承载盘，设于所述第一凹槽内，所述承载盘顶面设置有第二凹槽以容纳待镀膜衬底； 所述承载盘包括活动端部和自由端部，所述活动端部经所述第一凹槽的一侧侧壁开口与所述轴体顶部活动适配； 倾斜支撑机构，设置于所述承载座，包括用于提供承载盘驱动介质的介质供应管路以及连通所述介质供应管路的活动支撑部，所述活动支撑部位于所述自由端部下方，以在所述承载盘驱动介质的作用下抬升或下降，以带动所述自由端部相对所述活动端部抬升或下降； 源气注入装置，与所述承载座中部相对设置，用于向所述生长腔室内注入源气，使所述源气沿所述活动端部指向所述自由端部的方向流经所述待镀膜衬底。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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