株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置以及镀覆装置用阻抗体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120265835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202480004766.9,技术领域涉及:C25D17/10;该发明授权镀覆装置以及镀覆装置用阻抗体是由富田正辉;芹沢祐太郎设计研发完成,并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置以及镀覆装置用阻抗体在说明书摘要公布了:本发明提出一种能够提高形成于镀覆对象物的镀膜的厚度的均匀性的镀覆装置。装置用阻抗体是在镀覆装置中配置在阳极与保持镀覆的对象物的保持架之间的电场调整用的镀覆装置用阻抗体,上述镀覆装置用阻抗体具有板状的主体,上述板状的主体具有上表面、下表面、以及连通上述上表面和上述下表面的多个贯通孔,上述镀覆装置用阻抗体还具有配置在上述主体的内部的插入体,上述插入体具有多个贯通孔,上述插入体能够在上述插入体的上述多个贯通孔与上述主体的多个贯通孔连通的第一位置、和上述插入体的上述多个贯通孔不与上述主体的多个贯通孔连通的第二位置之间移动。
本发明授权镀覆装置以及镀覆装置用阻抗体在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置用阻抗体,其是在镀覆装置中配置在阳极与保持镀覆的对象物的保持架之间的电场调整用的镀覆装置用阻抗体,其中,所述镀覆装置用阻抗体具有板状的主体,所述板状的主体具有上表面、下表面、以及连通所述上表面和所述下表面的多个贯通孔,所述镀覆装置用阻抗体还具有配置在所述主体的内部的插入体,所述插入体具有多个贯通孔,所述插入体能够在所述插入体的所述多个贯通孔与所述主体的多个贯通孔连通的第一位置、和所述插入体的所述多个贯通孔不与所述主体的多个贯通孔连通的第二位置之间移动。
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