深圳市中芯辰瑞光电科技有限公司党新洲获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市中芯辰瑞光电科技有限公司申请的专利一种固晶头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120341163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510831589.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种固晶头是由党新洲;何庆峰;吴江设计研发完成，并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固晶头在说明书摘要公布了：本发明公开了一种固晶头，所述固晶头包括动力元件、传动气囊、气浮轴承和吸嘴机构；所述气浮轴承包括气浮轴套和气浮轴，所述气浮轴旋转设置于所述气浮轴套内，所述气浮轴与所述气浮轴套之间具有气膜间隙；所述动力元件与所述传动气囊连接，用于输出旋转运动；所述传动气囊与所述气浮轴的第一端连接，用于动力传递；所述吸嘴机构设置于所述气浮轴的第二端。在动力元件和气浮轴承之间设置传动气囊，如此，动力元件输出动力，经传动气囊后再传递至气浮轴，最后传递至吸嘴机构。在固晶时，传动气囊缓冲固晶头对晶片所施加的压力，避免固晶头对晶片的刚性冲击，避免或者减少晶片破碎，提高晶片的安全性。
本发明授权一种固晶头在权利要求书中公布了：1.一种固晶头，其特征在于，所述固晶头包括动力元件、传动气囊、气浮轴承、吸嘴机构、轴承壳体和飞轮机构； 所述气浮轴承包括气浮轴套和气浮轴，所述气浮轴套设置于所述轴承壳体内，所述气浮轴旋转设置于所述气浮轴套内，所述气浮轴与所述气浮轴套之间具有气膜间隙，所述气浮轴套靠近所述飞轮机构的端面设有多个沿圆周分布的平衡气孔； 所述动力元件与所述传动气囊连接，用于输出旋转运动； 所述传动气囊与所述气浮轴的第一端连接，用于动力传递； 所述吸嘴机构设置于所述气浮轴的第二端； 所述飞轮机构的一侧与所述传动气囊连接，所述飞轮机构的另一侧与所述气浮轴连接； 所述轴承壳体上设有第四气孔，所述第四气孔连通压缩气源，所述第四气孔还连通所述平衡气孔的一端； 所述平衡气孔向所述飞轮机构喷射高速气流，用于保持所述飞轮机构平衡、防止摩擦抱死。
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