湖北星辰技术有限公司金保洲获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356839B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510813747.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆检测装置是由金保洲;贺凯;赵平;袁娜;梅敏设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种晶圆检测装置，包括：载物台，用于放置晶圆；晶圆经过划片处理被划片槽划分为多个芯片；激光装置，与载物台相对，用于向载物台的放置晶圆的一侧发射激光光束；在激光光束的数量为三束时，三束激光光束在晶圆上所形成的光斑满足：三个光斑为三角形的三个顶点，任意两个光斑的连线与每一划片槽均不平行，且任意两个光斑的连线的长度均大于第一阈值，第一阈值为相交的两个划片槽的重合区域的最大尺寸；激光装置，还用于感测被反射的激光光束；处理装置，用于判断被反射的激光光束的强度，在任一被反射的激光光束的强度大于强度阈值的情况下，确定载物台上存在晶圆。本公开实施例能够提升晶圆检测的准确性，降低误判率。
本发明授权一种晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括： 载物台，用于放置晶圆；所述晶圆经过划片处理被划片槽划分为多个芯片； 激光装置，与所述载物台相对，用于向所述载物台的放置所述晶圆的一侧发射激光光束；在所述激光光束的数量为三束时，三束所述激光光束在所述晶圆上所形成的光斑满足预设条件，所述预设条件为：三个所述光斑为三角形的三个顶点，任意两个所述光斑的连线与每一所述划片槽的延伸方向均不平行，且任意两个所述光斑的连线的长度均大于第一阈值，所述第一阈值为相交的两个所述划片槽在延伸方向的重合区域的最大尺寸； 所述激光装置，还用于感测被反射的激光光束； 处理装置，用于判断所述被反射的激光光束的强度，在任一所述被反射的激光光束的强度大于强度阈值的情况下，确定所述载物台上存在晶圆。
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