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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种掩膜基板及镀膜温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120443132B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510913862.1，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权一种掩膜基板及镀膜温度控制方法是由李加海;高伟东;曹荣府设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜基板及镀膜温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种掩膜基板及镀膜温度控制方法，属于半导体制造技术领域。本发明的一种掩膜基板，包括基板本体以及在基板本体表面依次形成的抗反射层、遮光层和保护层，其中，抗反射层为梯度复合膜，遮光层为纳米晶Cr，遮光层由HiPIMS溅射沉积，晶粒尺寸15nm，沉积温度为280±3℃，抗反射层与遮光层之间设有CrON过渡层。本发明的掩膜基板及镀膜温度控制方法，通过在基板本体边缘非镀膜区设置多个温度感应模块，采用Pt1000薄膜热电偶结合Al2O3载片封装，具备良好的热响应速度与测量精度，可直接反映基板表面真实温度变化，弥补传统外部测温手段的不足；基于模块采集的温度数据，软件系统可动态调节加热器功率。

本发明授权一种掩膜基板及镀膜温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜基板，包括基板本体1以及在基板本体1表面依次形成的抗反射层2、遮光层3和保护层4，其中，抗反射层2为梯度复合膜，遮光层3为纳米晶Cr，遮光层3由HiPIMS溅射沉积，晶粒尺寸15nm，沉积温度为280±3℃，抗反射层2与遮光层3之间设有CrON过渡层，基板本体1边缘设置有可拆卸的温度感应模块5，温度感应模块5通过耐高温胶临时固定； 所述梯度复合膜包括从基板本体1表面依次形成的富Cr过渡层、CrN主导层、CrN‑CrOX渐变层和富CrOX表层，梯度复合膜氧含量从基板本体1向表面递增，氮含量递减，且富Cr过渡层至富CrOX表层在193nm波长下的折射率从2.5渐变至1.8； 所述温度感应模块5临时固定于基板本体1边缘非镀膜区，温度感应模块5包括Pt1000薄膜热电偶与Al2O3载片，Pt1000薄膜热电偶通过掺杂4％Rh的铂膜制成，表面覆盖50nm Si3N4保护层。

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