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龙图腾网获悉北京精恒工控科技有限公司申请的专利一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120456803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510942388.5，技术领域涉及：H10N30/082；该发明授权一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法是由廖占武;汪林亮设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明涉及石英晶体刻蚀技术领域，公开了一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法，包括：基于实时反馈调控机制，实现对高频石英晶体谐振器刻蚀过程的精准控制。通过在真空腔室中启动上下对称离子源，形成双面刻蚀场，确保晶片双面刻蚀均衡。系统实时获取晶片厚度和工作谐振频率，并与预设频率比对得到频率偏移量。若偏移量超过阈值，则根据偏移幅度确定能量与气体修正因子，动态调整离子束能量与气体比例，实现刻蚀强度与损伤控制的联动优化；若偏移量低于阈值，则中止刻蚀。本发明通过嵌入式实时感知与参数联动优化，实现了刻蚀过程从“定参数控制”向“自适应反馈控制”的转变，提升了工艺过程的智能化与精准性。

本发明授权一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种高频石英晶体谐振器的低损伤双面离子束刻蚀方法，其特征在于，包括： 将石英晶片置于真空腔室内的旋转载物台上，启动对称布置的上、下离子源以形成双面刻蚀场； 获取实时石英晶片厚度以及石英晶体谐振器的工作谐振频率，并根据石英晶体谐振器的工作谐振频率与配置的预设工作谐振频率之间的关系，确定频率偏移量； 初始化刻蚀参数，并根据频率偏移量与配置的预设频率偏移阈值之间的关系，确定石英晶片的刻蚀操作，其中： 若频率偏移量超出预设频率偏移阈值时，则根据频率偏移量与配置的预设频率偏移阈值之间的关系，确定输出能量的修正因子和输出气体修正因子，并根据输出能量的修正因子和输出气体修正因子对刻蚀参数进行调整； 若频率偏移量低于预设频率偏移阈值时，则根据确定中止刻蚀操作； 根据频率偏移量与配置的预设频率偏移阈值之间的关系，确定输出能量的修正因子和输出气体修正因子时，包括： 基于频率偏移量的幅值与配置的预设幅值，确定刻蚀强度等级； 根据刻蚀强度等级调用预先配置的损伤控制模型，输出用于调节离子束能量的能量修正因子以及用于调节反应气体混合比例的气体修正因子。

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