北京特思迪半导体设备有限公司党金行获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利断电保护装置、主轴系统及减薄机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120461322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510827792.8,技术领域涉及:B24B37/34;该发明授权断电保护装置、主轴系统及减薄机是由党金行;寇明虎设计研发完成,并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本断电保护装置、主轴系统及减薄机在说明书摘要公布了:本申请提供一种断电保护装置、主轴系统及减薄机,涉及半导体加工设备技术领域,包括第一断电保护单元,其包括:配合部,固设于主轴上;承接部,同轴套设于配合部的外周且位于配合部的下方,能够与配合部形成摩擦副结合,在结合时与配合部实现转矩传递,并对配合部和主轴提供向上的支撑力;第一滑移部,同轴套设于承接部的外周,与承接部形成旋转副且构成轴向联动配合;偏压件,作用于第一滑移部,并在轴向上对第一滑移部施加向上偏压力,使承接部与配合部形成结合状态;加压机构,在通电状态下产生与偏压力反向的作用力,且作用力大于偏压力,以解除结合状态;在断电状态下作用力消除。解决了采用非接触式轴承确实断电保护的问题。
本发明授权断电保护装置、主轴系统及减薄机在权利要求书中公布了:1.一种断电保护装置,其特征在于:包括:第一断电保护单元,所述第一断电保护单元包括: 配合部,固设于主轴上; 承接部,同轴套设于所述配合部的外周且位于所述配合部的下方,能够与所述配合部形成摩擦副结合,在结合时与所述配合部实现转矩传递,并对所述配合部和所述主轴提供向上的支撑力; 第一滑移部,同轴套设于所述承接部的外周,与所述承接部形成旋转副且构成轴向联动配合; 偏压件,作用于第一滑移部,并在轴向上对所述第一滑移部施加向上偏压力,以驱动所述第一滑移部向所述配合部移动,使所述承接部与所述配合部形成结合状态; 加压机构,在通电状态下产生与所述偏压力反向的作用力,且所述作用力大于所述偏压力,以解除所述结合状态;在断电状态下所述作用力消除; 所述配合部设置为外锥内套一,所述外锥内套一的底部具有沿轴向从上至下呈收口状的锥形面;所述承接部设置为内锥外套一,所述内锥外套一的顶部具有沿轴向从上至下呈收口状的结合面,所述结合面与所述锥形面相匹配,构成可离合的锥面摩擦副; 所述加压机构包括: 内磁芯,固设于所述第一滑移部的外周; 外磁芯,环绕于所述内磁芯的外侧,所述外磁芯与所述内磁芯之间形成径向间隙,所述外磁芯通电时能够与所述内磁芯产生磁极反应,并带动所述第一滑移部和所述承接部克服所述偏压力并沿所述主轴的轴向远离所述配合部,使所述承接部与所述配合部分离。
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