天津吉兆源科技有限公司李树瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511038821.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统是由李树瑜;孟子淇;李晓静;尚健;杨国浩设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统。远程等离子体反应腔室包括：第一法兰，第一法兰包括进气口；绝缘筒，位于第一法兰的一侧，绝缘筒的内腔与进气口连通；环状电极，固定于绝缘筒的外壁侧；金属屏蔽罩，位于环状电极远离绝缘筒的外壁侧，其中，金属屏蔽罩与环状电极间隔设置，金属屏蔽罩复用为第一电极，环状电极复用为第二电极，环状电极用于接收射频电源模块输出的射频能量，金属屏蔽罩和环状电极用于电离绝缘筒内的工艺气体以产生等离子体；第二法兰，位于绝缘筒远离第一法兰的一侧，其中，第二法兰包括出气口。本发明提供了一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统，结构简单，体积小，且可靠性高。
本发明授权一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体反应腔室，其特征在于，包括： 第一法兰，所述第一法兰包括进气口； 绝缘筒，位于所述第一法兰的一侧，所述绝缘筒的内腔与所述进气口连通； 环状电极，固定于所述绝缘筒的外壁侧； 金属屏蔽罩，位于所述环状电极远离所述绝缘筒的外壁侧，其中，所述金属屏蔽罩与所述环状电极间隔设置，所述金属屏蔽罩复用为第一电极，所述环状电极复用为第二电极，所述环状电极用于接收射频电源模块输出的射频能量，所述金属屏蔽罩和所述环状电极用于电离所述绝缘筒内的工艺气体以产生等离子体； 第二法兰，位于所述绝缘筒远离所述第一法兰的一侧，其中，所述第二法兰包括出气口，所述出气口与所述绝缘筒的内腔连通。
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