成都路维光电有限公司傅云扬获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电有限公司申请的专利一种掩膜版清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223393924U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422187776.0，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种掩膜版清洗装置是由傅云扬;孙多卫设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种掩膜版清洗装置，涉及清洗设备领域，包括：清洗箱体，用于容纳掩膜版和清洗液；喷淋系统，面向清洗箱体的容纳腔设置，用于将清洗液通入清洗箱体内；气泡组件，设置在清洗箱体内，能够在清洗液环境中产生气泡，并将气泡推送到掩膜版旁；气泡组件设置为产生并推动气泡在掩膜版表面瞬间爆破产生冲击力作用使脏物与掩膜版分离。本实用新型通过在清洗箱体内设置气泡组件，产生并推动气泡在掩膜版表面瞬间爆破产生冲击力作用使脏物与掩膜版分离，以达到彻底清除掩膜版上微小脏物的目的。
本实用新型一种掩膜版清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于，包括： 清洗箱体1，用于容纳掩膜版2和清洗液； 喷淋系统3，面向所述清洗箱体1的容纳腔设置，用于将清洗液通入清洗箱体1内； 气泡组件4，设置在所述清洗箱体1内，能够在清洗液环境中产生气泡，并将气泡推送到掩膜版2旁； 所述气泡组件4设置为在清洗液中产生并推动气泡在掩膜版2表面瞬间爆破产生冲击力作用使脏物5与掩膜版2分离。
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