钧迪智能装备科技(苏州)有限公司徐维良获国家专利权
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龙图腾网获悉钧迪智能装备科技(苏州)有限公司申请的专利光刻机镜头获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223401142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423011973.3,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型光刻机镜头是由徐维良;陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机镜头在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光刻机镜头,包括:反射箱,具有反射腔,所述反射腔内设有光学反射组件,所述光学反射组件包括数字微镜器件;透镜箱,具有与反射腔相连通的透镜腔,所述透镜腔内设有光学透镜组件;冷却装置,与所述反射箱导热连接,用于冷却反射箱。本实用新型的光刻机镜头通过冷却装置与反射箱导热连接,从而有效的降低了反射箱的温度,提升了光刻机镜头的散热效果和连续工作的时间。
本实用新型光刻机镜头在权利要求书中公布了:1.一种光刻机镜头,其特征在于,包括: 反射箱,具有反射腔,所述反射腔内设有光学反射组件,所述光学反射组件包括数字微镜器件; 透镜箱,具有与反射腔相连通的透镜腔,所述透镜腔内设有光学透镜组件; 冷却装置,与所述反射箱导热连接,用于冷却反射箱。
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