应用材料公司埃里克·克哈雷·施诺获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利经改良的半角喷嘴获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108400102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810073162.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权经改良的半角喷嘴是由埃里克·克哈雷·施诺设计研发完成，并于2018-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本经改良的半角喷嘴在说明书摘要公布了：本公开内容的实现方式提供了一种用于在热处理期间改良气体分布的设备。本公开内容的一个实现方式提供了一种用于热处理基板的设备。所述设备包括主体、成角度的气源组件、和气体注入通道。所述气体注入通道具有第一半角和第二半角。第一半角不同于第二半角。在处理腔室中使用经改良的侧面气体组件以朝向基板边缘引导气体有利地控制了在整个基板中即，从中心至边缘的生长均匀性。令人惊讶地，引导气体通过具有不均匀半角的气体通道将显著地增加在基板边缘处或附近的反应，从而导致基板的提高的总厚度均匀性。
本发明授权经改良的半角喷嘴在权利要求书中公布了：1.一种用于热处理基板的设备，包括： 主体，其中所述主体包括： 第一侧面； 第二侧面，与所述第一侧面相对，其中所述第一侧面实质上与所述第二侧面是相同长度； 第三侧面，与所述第一侧面正交； 第一曲面，在所述第一侧面与所述第三侧面之间延伸； 第二曲面，在所述第三侧面与所述第二侧面之间延伸； 第四侧面，与所述第二侧面正交； 第三曲面，在所述第一侧面与所述第四侧面之间延伸；和第四曲面，在所述第四侧面与所述第二侧面之间延伸，其中在所述第三侧面中与所述第四侧面相对； 成角度的突起；和气体注入通道，包括： 第一半角；和第二半角，其中所述第一半角不同于所述第二半角。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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