隆基绿能科技股份有限公司杜婷婷获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种晶体及其生长控制方法、装置、设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115874272B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111139035.X,技术领域涉及:C30B15/20;该发明授权一种晶体及其生长控制方法、装置、设备是由杜婷婷;王正远;张伟建设计研发完成,并于2021-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体及其生长控制方法、装置、设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶体及其生长控制方法、装置、设备,涉及半导体及光伏晶体制造技术领域。其中,晶体生长控制方法,包括:在晶体等径生长过程中,获取预设的时间窗口的窗口时间内至少部分时刻的实际平均拉速,所述时间窗口每经过第一时间滑动一次;以第二时间为处理周期,基于当前处理周期内所述时间窗口各次滑动后的窗口时间内至少部分时刻的实际平均拉速,对下个处理周期内的预设基础拉速进行调节处理,得到所述下个处理周期内的目标拉速,以在所述下个处理周期内,基于所述下个处理周期内的目标拉速,控制加热功率,其中,所述第二时间大于所述第一时间。可以降低目标拉速与实际平均拉速的偏差量,从而减少晶体断棱概率,同时提高了生产效率。
本发明授权一种晶体及其生长控制方法、装置、设备在权利要求书中公布了:1.一种晶体生长控制方法,其特征在于,包括: 在晶体等径生长过程中,获取预设的时间窗口的窗口时间内至少部分时刻的实际平均拉速,所述时间窗口每经过第一时间滑动一次; 以第二时间为处理周期,基于当前处理周期内所述时间窗口各次滑动后的窗口时间内至少部分时刻的实际平均拉速,对下个处理周期内的预设基础拉速进行调节处理,得到所述下个处理周期内的目标拉速,以在所述下个处理周期内,基于所述实际平均拉速与所述下个处理周期内的目标拉速的偏差量,控制加热功率,其中,所述第二时间大于所述第一时间; 其中,所述以第二时间为处理周期,基于当前处理周期内所述时间窗口各次滑动后的窗口时间内至少部分时刻的实际平均拉速,对下个处理周期内的预设基础拉速进行调节处理,得到所述下个处理周期内的目标拉速,包括: 在所述时间窗口每次滑动后,确定所述时间窗口的窗口时间内,结束时刻的实际平均拉速与开始时刻的实际平均拉速的差值,以得到第一差值; 将所述第一差值与差值区间进行比较; 基于比较结果,确定微调节量; 基于所述时间窗口每次滑动后确定的所述微调节量,确定总调节量; 基于所述总调节量以及所述下个处理周期内的预设基础拉速,确定所述下个处理周期内的目标拉速。
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