西安交通大学李强获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种单晶hBN纳米球阵列及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115976638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211727273.7,技术领域涉及:C30B23/00;该发明授权一种单晶hBN纳米球阵列及制备方法是由李强;李家兴;房万年;张启凡;云峰设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶hBN纳米球阵列及制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体光电器件及二维薄膜材料领域,公开一种单晶hBN纳米球阵列及制备方法,在第一衬底表面溅射hBN薄膜;将生长的hBN薄膜的衬底置于倾斜支撑结构上;或将hBN薄膜剥离后转移至第二衬底表面,然后置于倾斜支撑结构上;倾斜支撑结构一侧设置有接收衬底;将hBN薄膜置于激光器正下方,移动激光器,在接收衬底上制得单晶hBN纳米球阵列。本发明实现了纳米球尺寸的调控,使单晶hBN纳米球探测阵列具有灵活多变的特点,以满足不同的应用场景的需求;本发明利用微腔结构具有表面增强效应,阵列的微球结构会增强光与物质的作用,大大提高材料对紫外光的提取能力,提高材料的光电转换效率,从而提高器件响应度。
本发明授权一种单晶hBN纳米球阵列及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶hBN纳米球阵列制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 在第一衬底表面溅射hBN薄膜; 将生长的hBN薄膜的衬底置于倾斜支撑结构上;或将hBN薄膜剥离后转移至第二衬底表面,然后置于倾斜支撑结构上;倾斜支撑结构一侧设置有接收衬底; 将hBN薄膜置于激光器正下方,移动激光器,改变激光器的焦距和或倾斜支撑结构的倾角,在接收衬底上制得单晶hBN纳米球阵列; 倾斜支撑结构的倾斜角度的变化范围为30°到60°; 激光器的激光脉冲频率为1kHz~30kHz,工作电流为30A~45A,焦距为±770μm。
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