杭州科汀光学技术有限公司金波获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州科汀光学技术有限公司申请的专利一种线性渐变窄带滤光片的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116892005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310623780.4,技术领域涉及:G02B5/20;该发明授权一种线性渐变窄带滤光片的制备方法是由金波;艾曼灵;闫昱虹;吴江波;顾培夫设计研发完成,并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种线性渐变窄带滤光片的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种线性渐变窄带滤光片的制备方法,基板为条状玻璃,膜厚分布的线性渐变特性是通过调节真空蒸发系统的几何配置即条状玻璃基板和膜料蒸发源之间的相对位置来实现的。几何配置主要包括:条状玻璃基板平面和蒸发源蒸发平面之间的距离h,蒸发源中央与基板旋转中心轴之间的距离L及夹具盘条状玻璃基板上选取的任一膜厚考察点离旋转中心轴之间的距离ρ。膜厚分布就是要计算出不同的几何配置hL下膜厚比tt0与ρL的关系。在hL1.5的情况下,tt0随ρL的变化当ρL0.8时呈现出非常好的线性关系,因而可获得膜厚连续线性渐变的各种滤光片。hL常选1.5~2.5,本发明优选hL=1.8。滤光片选用三腔法布里‑珀珞结构。
本发明授权一种线性渐变窄带滤光片的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种线性渐变窄带滤光片的制备方法,其特征在于,采用真空镀膜机,包括: 真空室; 设置在所述真空室内的工件夹具盘; 安装在所述工件夹具盘上的条状玻璃基板; 设置在所述真空室底部的多个蒸发源; 所述的制备方法包括以下步骤: 1所述条状玻璃基板与工件夹具盘紧贴的平面与多个蒸发源的蒸发平面之间的距离,简称高度h; 所述蒸发源的蒸发点与所述工件夹具盘旋转中心轴之间的距离为L; 所述条状玻璃基板上所选取的任一膜厚考察点离所述工件夹具盘旋转中心轴之间的距离ρ; 2计算出不同的几何配置hL下归一化膜厚比tt0与ρL的关系,得到多个几何配置膜厚分布曲线,t0和t分别为工件夹具盘中心点的膜厚和条状玻璃基板上所选取的任一膜厚考察点的膜厚; 归一化膜厚比tt0与ρL的关系: 13从多个几何配置膜厚分布曲线中选取线性面积大且线性好的曲线作为最优几何配置膜厚分布曲线,根据最优几何配置膜厚分布曲线布置条状玻璃基板,进行制造,得到线性渐变窄带滤光片; 最优几何配置膜厚分布曲线中的hL为1.8,L=100mm,ρL=1.0~1.8,条状玻璃基板放置在ρL=1.0~1.8之间; 所述的线性渐变窄带滤光片选用三腔法布里‑珀珞结构:G[HL4HHLH4M]3A,其中G为玻璃基板,H、L、M分别为高折射率膜、低折射率膜和更低折射率膜,A为入射空气; 所述的高折射率膜为TiO2,所述的低折射率膜为SiO2,所述的更低折射率膜为MgF2。
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