深圳市原速科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市原速科技有限公司申请的专利加工平台及镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117926222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311670191.8,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权加工平台及镀膜设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2023-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工平台及镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种加工平台及镀膜设备。加工平台在第一方向的其中一侧设置有承载侧,承载侧具有承载面,承载面用于与基材接触,加工平台设置有出气通道,出气通道包括出气口,出气口位于承载面的周向外侧,出气通道用于通入隔离气体。将出气口设置于承载面的周向外侧,可以使得出气通道所通入的隔离气体流向基材的周向边缘,以通过隔离气体限制前驱体和反应物的分布,使得前驱体和反应物落在镀膜面上,减小绕镀现象出现的几率,确保镀膜均匀性,提高生产良率。
本发明授权加工平台及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.加工平台,其特征在于,包括: 承载侧,为所述加工平台在第一方向的其中一侧,所述承载侧具有承载面,所述承载面用于与基材接触,所述加工平台设置有出气通道,所述出气通道包括出气口,所述出气口位于所述承载面的周向外侧,所述出气通道用于通入隔离气体,所述出气口的开口方向与所述第一方向共向; 基座,设置有进风孔,所述进风孔用于通入隔离气体; 第一导风件,所述第一导风件和所述基座沿所述第一方向依次层叠,所述承载面设置于所述第一导风件背离所述基座一侧的表面,所述第一导风件朝向所述基座的一侧设置有导风槽,所述导风槽和所述进风孔互相连通,所述导风槽和所述进风孔共同限定出出气通道,所述导风槽沿垂直于所述第一方向的方向延伸至所述第一导风件的周向表面并形成所述出气口; 其中,所述出气口环绕所述承载面延伸设置;或者,所述出气通道包括多个所述出气口,各所述出气口环绕所述承载面排布。
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