广东工业大学陈桪获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种Micro-LED芯片柔性飞行刺晶装置及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117936424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410103782.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种Micro-LED芯片柔性飞行刺晶装置及控制方法是由陈桪;谢丛锴;刘子扬;姚敬松;孙剑峰;劳斯德;程健聪;宋嘉诚;陈新设计研发完成,并于2024-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Micro-LED芯片柔性飞行刺晶装置及控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种Micro‑LED芯片柔性飞行刺晶装置及控制方法,包括:微动平台;微动平台包括:微动平台控制器、音圈电机、驱动框、压电陶瓷、桥式放大机构和杠杆放大机构;微动平台控制器分别与音圈电机和压电陶瓷电性连接,用于控制音圈电机推动驱动框以带动刺针的横向移动,并按照预设工作频率控制压电陶瓷轴向伸长收缩使得桥式放大机构与杠杆放大机构纵向移动,进而带动刺针进行纵向往复移动。在本发明中,能够实时调整刺针的横向位移保证刺针与Micro‑LED芯片的对准精度,将桥式放大机构与杠杆放大机构相结合搭配压电陶瓷使得刺针进行纵向的高速率移动,本发明能够实现高精度、高速度和高效率的芯片封装转移。
本发明授权一种Micro-LED芯片柔性飞行刺晶装置及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种Micro‑LED芯片柔性飞行刺晶装置,其特征在于,包括:微动平台;所述微动平台包括:微动平台控制器、音圈电机、驱动框、压电陶瓷、桥式放大机构和杠杆放大机构; 所述音圈电机的驱动轴与驱动框的一侧驱动连接; 所述压电陶瓷安装在所述驱动框内,所述压电陶瓷的输出轴连接桥式放大机构,且所述桥式放大机构与所述杠杆放大机构相抵接于所述驱动框内;所述桥式放大机构与所述杠杆放大机构相结合形成复合放大机构,用于放大所述压电陶瓷的输出位移; 所述杠杆放大机构的底部设有刺针,用于撞击Micro‑LED芯片; 所述微动平台控制器分别与所述音圈电机和所述压电陶瓷电性连接,用于控制所述音圈电机推动所述驱动框以带动所述刺针的横向移动,并按照预设工作频率控制所述压电陶瓷轴向伸长收缩使得所述桥式放大机构与所述杠杆放大机构纵向移动,进而带动所述刺针进行纵向往复移动。
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