厦门乾照光电股份有限公司曲晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门乾照光电股份有限公司申请的专利一种复合膜层、光刻方法及系统、LED芯片及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118033979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410357080.X，技术领域涉及：G03F7/09；该发明授权一种复合膜层、光刻方法及系统、LED芯片及其制作方法是由曲晓东;谭桂英;陈凯轩;李敏华;崔恒平;江土堆;赵斌;杨克伟设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合膜层、光刻方法及系统、LED芯片及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种复合膜层、光刻方法及系统、LED芯片及其制造方法，本发明的复合膜层通过在光刻胶层内部或者至少一侧表面设置图形化的波长转换部，用第一光源照射波长转换部后，波长转换部激发形成比第一光源波长更短的第二光源对光刻胶层进行图案化曝光，不仅在曝光光刻胶层时可以免去掩模版的使用，而且波长转换部吸收第一光源激发出波长更短的第二光源曝光光刻胶层，能够提高光刻精度。光刻方法及系统采用上述的复合膜层实现光刻胶层的图案化。LED芯片及其制造方法采用上述光刻系统实现光刻胶层的图案化。
本发明授权一种复合膜层、光刻方法及系统、LED芯片及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种复合膜层，其用于光刻并设置于待光刻结构的表面，其特征在于，包括： 层叠于所述待光刻结构表面的光刻胶层； 位于所述光刻胶层内部或者至少一侧表面的图案化的波长转换部； 所述波长转换部被配置为吸收具有第一波长λ1的第一光源并激发形成具有第二波长λ2的第二光源，其中所述λ1＞λ2；所述光刻胶层吸收所述第二光源；所述光刻胶层不吸收所述第一光源；所述波长转换部包括上转换发光材料。
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