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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利电化学沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119013439B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380008415.0，技术领域涉及：C25D17/02；该发明授权电化学沉积设备是由李连松;闫俊伟;裴光辉;任泽;张国才;董士豪设计研发完成，并于2023-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本电化学沉积设备在说明书摘要公布了：一种电化学沉积设备，包括：具有容纳槽的工艺槽体，所述容纳槽用于容纳电镀液；具有承载面的基板载具，所述承载面用于承载待镀膜的基板，所述基板载具的至少一部分位于所述容纳槽中；至少一个驱动组件，所述驱动组件设置所述工艺槽体上，用于控制所述基板载具沿第一平面移动，所述第一平面与所述承载面的法线方向交叉。

本发明授权电化学沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种电化学沉积设备，包括： 具有容纳槽的工艺槽体，所述容纳槽用于容纳电镀液； 具有承载面的基板载具，所述承载面用于承载待镀膜的基板，所述基板载具的至少一部分位于所述容纳槽中； 至少一个驱动组件，所述驱动组件设置所述工艺槽体上，用于控制所述基板载具沿第一平面移动，所述第一平面与所述承载面的法线方向交叉； 所述电化学沉积设备还包括： 喷流板，所述喷流板可拆卸地设置在所述容纳槽中，且包括具有第一容纳腔的容纳壳体，所述容纳壳体上设置有第一进液口和多个出液口，所述第一进液口和所述出液口均与所述第一容纳腔连通，所述出液口朝向所述承载面设置；其中，所述喷流板到所述承载面的距离可调； 所述容纳壳体上还设置有沿第一方向排列的多个第一安装孔组，每个所述第一安装孔组包括沿第三方向排列的多个第一安装孔；所述第三方向为所述承载面的法线方向； 所述电化学沉积设备还包括： 安装板，所述安装板上设置有多个第二安装孔组，每个所述第二安装孔组包括沿所述第三方向排列的多个第二安装孔；所述第二安装孔组与所述第一安装孔组一一对应，且每个所述第二安装孔能够与一个所述第一安装孔对正； 多个紧固件，每个所述紧固件能够伸入相对正的一个第一安装孔和一个第二安装孔中，以紧固所述容纳壳体和所述安装板； 每个所述第一安装孔组包括N个所述第一安装孔，每个所述第二安装孔组中的第二安装孔的数量大于或等于N；N为大于1的整数；同一个所述第一安装孔组中的相邻两个第一安装孔的间距等于同一个第二安装孔组中的相邻两个第二安装孔的间距；相邻两个所述第一安装孔组的间距等于相邻两个所述第二安装孔组的间距； 部分数量的所述第二安装孔组包括N个第二安装孔，其余的第二安装孔组包括N+1个第二安装孔，所述N个第二安装孔与所述N+1个第二安装孔交错设置。

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