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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆翘曲度测量方法及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361452B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410263393.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆翘曲度测量方法及检测设备是由孙福广;唐海银设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆翘曲度测量方法及检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆翘曲度的测量方法及检测设备，方法包括晶圆上设置n组标记图形；测每组标记图形的投影距离L1m；晶圆进行工艺；测工艺后每组标记图形的投影距离L2m；使第m个圆弧弧长L1m弦长L2m，计算第m个圆弧准翘曲度Bm；根据n个准翘曲度计算晶圆翘曲度。本发明通过测量n组距离标记工艺前后的投影距离，建立几何模型得到翘曲度，耗时短，操作方便，提高翘曲度测量准确度；同时测量多对距离标记，得到多位置翘曲度，进一步提高翘曲度测量准确度；另外光学成像设备自动调焦检测中心长度和基准高度，确认晶圆翘曲方向；最后设置标记图形的连线夹角均匀，避免偶然性只检测到没有翘曲的位置，进一步提高翘曲度测量准确度。

本发明授权一种晶圆翘曲度测量方法及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翘曲度测量方法，其特征在于，所述测量方法包括： 提供一晶圆，所述晶圆的上表面设置有n组距离标记，n为大于等于1的整数，每组所述距离标记包括两个标记图形，此时所述上表面所在的平面为第一平面，每组所述距离标记中的两个标记图形在所述第一平面上的投影之间的连线经过所述晶圆的中心点在所述第一平面上的投影； 测量每组所述距离标记中的两个所述标记图形在所述第一平面上的投影之间的直线距离为第一距离，第m组所述距离标记的第一距离为L1m，m为大于等于1且小于等于n的整数； 对所述晶圆进行预设工艺； 测量经过预设工艺的所述晶圆上的每组所述距离标记中的两个所述标记图形在所述第一平面上的投影之间的直线距离为第二距离，第m组所述距离标记的第二距离为L2m； 建立几何模型，所述几何模型包括n个圆弧，使第m个所述圆弧的弧长为L1m，第m个所述圆弧的弦长为L2m，根据所述几何模型计算得到第m个圆弧对应的准翘曲度Bm；计算得到第m个所述圆弧对应的准翘曲度Bm的方法为：求解方程sinθm2θm2=L2mL1m，得到第m个所述圆弧的圆心角θm；计算第m个所述圆弧的曲率半径Rm=L1mθm；计算得到第m个圆弧对应的准翘曲度Bm=Rm‑Rm*cosθm2； 根据n个准翘曲度确定所述晶圆经过预设工艺后的翘曲度。

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