买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉艾恩(山东)半导体科技有限公司申请的专利一种离子注入的均匀稳定性控制方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419112B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411578549.9，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子注入的均匀稳定性控制方法和系统是由黄政设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入的均匀稳定性控制方法和系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体离子注入技术领域，具体为一种离子注入的均匀稳定性控制方法和系统；为解决现有技术中离子注入过程中离子束稳定性和均匀性较差的技术问题，本发明实时监测分析器温度，当温度超过温度阈值后，基于初始离子束均匀性值与均匀性值阈值的大小比对结果，选择是否依次离子浓度、离子束稳定度和离子束均匀性调节的步骤；上述过程中，是先通过调节离子源的电性参数来调节离子浓度，接着根据离子束电流值来选择执行通过调节分析器电流值来调节离子束稳定度的操作，进而选择执行通过调节离子源的电性参数来调节离子束均匀性值阈值的操作，该方法保证了离子束的均匀性和稳定性，应用在离子注入工艺中，能够提高产品良率。

本发明授权一种离子注入的均匀稳定性控制方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入的均匀稳定性控制方法，其特征在于，包括如下操作： S1、获取分析器的温度，若温度大于阈值后，获取离子束电流值，作为初始离子束电流值；基于初始离子束电流值，得到初始离子束均匀性值；判断所述初始离子束均匀性值是否小于均匀性值阈值； 若不小于，进行离子注入工艺；若小于，执行S2； S2、调节离子源的阳极电源电压、或和源磁电源电流、或和工艺气体流量、或和偏置电流、或和阳极电源负载电流值，使离子浓度至浓度阈值，执行S3； S3、获取离子浓度调整后离子束电流值与初始离子束电流值的差值，判断差值是否大于电流差阈值； 若大于，通过调节分析器电流值，使离子束电流值达到离子束电流值最大值，且使分析器电流值调整后的第一时间范围内，离子束稳定度大于稳定度阈值，执行S4； 若不大于，执行S4； S4、获取离子束稳定度大于稳定度阈值后的离子束均匀性值，作为待调离子束均匀性值；判断待调离子束均匀性值是否大于均匀性值阈值； 若大于，进行离子注入工艺； 若不大于，调节离子源的阳极电源电压、或和源磁电源电流、或和工艺气体流量、或和偏置电流、或和阳极电源负载电流值，使待调离子束均匀性值大于均匀性值阈值后，执行离子注入工艺； 离子束均匀性值，是基于监测时间范围内的离子束电流标准差和离子束电流均值得到的； 离子束稳定度=1‑2·离子束电流最大值‑离子束电流最小值离子束电流最大值+离子束电流最小值·100%。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾恩(山东)半导体科技有限公司，其通讯地址为：250000 山东省济南市高新区山东产业技术研究院高科技创新园10号楼A座5层516；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。