吉林大学李柳暗获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411567767.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法是由李柳暗;张羿明;王启亮;吕宪义;邹广田设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法在说明书摘要公布了：本发明的用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法属于光学薄膜制备技术领域，包括金刚石表面精密抛光、金刚石表面酸煮、磁控溅射等步骤。本发明采用高取向氧化物复合靶材制备高取向增透膜，采用低温与高温交替进行的镀膜方式，所制备的增透膜具有轻微疏水的特性及高取向特性；合成过程工艺连续性好，合成工艺简单。
本发明授权用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法，通过对温度的调控实现对增透膜生长速率的调控，从而在金刚石表面制备多层高取向氧化物薄膜，具体包括以下步骤： 步骤一：金刚石表面精密抛光将金刚石膜粘于自动抛光机上，使用抛光盘对金刚石进行抛光，直至金刚石表面粗糙度低于1nm，重复上述步骤，将金刚石膜另一面进行同样的抛光处理； 步骤二：金刚石表面酸煮处理对抛光后的金刚石膜进行酸煮处理，去除残留在金刚石膜表面的金属碎屑与非金刚石相，随后依次在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗，吹干； 步骤三：磁控溅射工艺过程将氧化物靶材安装至射频靶上，随后将清洗后的金刚石膜放入磁控溅射腔体中，并对磁控溅射腔体抽真空至压强为1×10‑4Pa ~9×10‑4Pa，通入溅射气体Ar，将气压调节为1~3Pa，衬底温度在25℃~1500℃之间调节，样品台转速为3~15rpm，溅射厚度由公式 确定，采用快慢相间的方式制备增透膜，以获最佳的增透效果，即低温与高温接替进行：在25~400℃下溅射30min~1h，在500~1500℃下溅射30min~1h，两者交替进行，直到溅射厚度达到；其中是需要透过的光在增透膜中的波长；至此，实现了在金刚石膜表面制备高取向的增透膜。
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