长鑫科技集团股份有限公司萧聪获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫科技集团股份有限公司申请的专利半导体结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119451118B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310977063.1,技术领域涉及:H10B43/30;该发明授权半导体结构及其制备方法是由萧聪;曾凡清设计研发完成,并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及一种半导体结构及其制备方法,半导体结构包括:基底;堆叠结构,位于基底上,包括交替层叠设置的多个半导体掺杂层与多个第一隔离结构;字线结构,由堆叠结构贯穿至基底;存储结构,由堆叠结构贯穿至基底,且环绕字线结构;沟道层,位于相邻半导体掺杂层之间,且环绕存储结构,且被第一隔离结构包围;并且,第一隔离结构包括第一隔离部以及第一导电部,第一隔离部位于沟道层与第一导电部之间,且位于半导体掺杂层与第一导电部之间,且第一导电部用于接入预设电源电压。本申请实施例可以有效提高闪存器件性能。
本发明授权半导体结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括: 基底; 堆叠结构,位于所述基底上,包括交替层叠设置的多个半导体掺杂层与多个第一隔离结构; 字线结构,由所述堆叠结构贯穿至所述基底; 存储结构,由所述堆叠结构贯穿至所述基底,且环绕所述字线结构; 沟道层,位于相邻半导体掺杂层之间,且环绕所述存储结构,且被所述第一隔离结构包围; 并且,所述第一隔离结构包括第一隔离部以及第一导电部,所述第一隔离部位于所述沟道层与所述第一导电部之间,且位于所述半导体掺杂层与所述第一导电部之间,且所述第一导电部用于接入预设电源电压。
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