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华天科技(江苏)有限公司李文旭获国家专利权

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龙图腾网获悉华天科技(江苏)有限公司申请的专利一种芯片全自动筛选及检测机台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119565926B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411962084.7,技术领域涉及:B07C5/00;该发明授权一种芯片全自动筛选及检测机台是由李文旭;王华依;宋来旺设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种芯片全自动筛选及检测机台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种芯片全自动筛选及检测机台,其全自动送料,且对芯片全面进行检测,确保筛选后的芯片质量稳定可靠。其包括:机架,其包括有工作台面、顶部支架,所述机架的工作台面上设置晶圆缓存及分档模块、芯片检测组件,所述顶部支架上设置有晶圆第一搬运模组、晶圆第二搬运模组;以及晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架,其包括层叠布置的料盒放置架、料盒转运机构,所述料盒放置架的顶层LP平台用于对接天车、并放置料盒或让天车取走料盒,所述料盒放置架的至少一层为晶圆取放工位,所述料盒放置架的至少一层为料盒缓冲区,所述料盒转运机构用于将各个位置的料盒进行转运作业。

本发明授权一种芯片全自动筛选及检测机台在权利要求书中公布了:1.一种芯片全自动筛选及检测机台,其特征在于,其包括: 机架,其包括有工作台面、顶部支架,所述机架的工作台面上设置晶圆缓存及分档模块、芯片检测组件,所述顶部支架上设置有晶圆第一搬运模组、晶圆第二搬运模组; 以及晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架,其包括层叠布置的料盒放置架、料盒转运机构,所述料盒放置架的顶层LP平台用于对接天车、并放置料盒或让天车取走料盒,所述料盒放置架的至少一层为晶圆取放工位,所述料盒放置架的至少一层为料盒缓冲区,所述料盒转运机构用于将各个位置的料盒进行转运作业; 所述晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架位于所述晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架的长度方向一端外围设置,所述工作台面靠近所述晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架的位置设置所述晶圆缓存及分档模块,所述工作台面远离所述晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架的位置处设置所述芯片检测组件; 所述晶圆缓存及分档模块设置有多组料盒,所述晶圆缓存及分档模块的多组料盒被划分为晶圆待检查缓存区、NG缓存区、空膜晶圆区、满片放置区; 所述芯片检测组件包括晶圆检查放置架、晶圆贴芯片放置架、旋转检测机台、芯片取放模块,所述晶圆贴芯片放置架上设置有良品放置架、NG品放置架,所述旋转检测机台上设置有进料晶圆视觉定位及检测机构、出料晶圆及视觉检测机构,所述芯片取放模块将从晶圆检查放置架上取下的芯片置于旋转检测机台上进行多工位检查,检查合格的芯片通过芯片取放模块贴装于良品放置架的良品晶圆上,检查为NG的芯片通过芯片取放模块贴装于NG品放置架的NG晶圆; 所述晶圆第一搬运模组将位于晶圆取放工位的料盒内的晶圆转运到晶圆待检查缓存区的料盒内,同时将位于NG缓存区和满片放置区的料盒内的晶圆转运到晶圆取放工位的接收料盒内; 所述晶圆第二搬运模组将位于晶圆待检查缓存区的料盒内的晶圆转运到晶圆检查放置架、将晶圆检查放置架上去除芯片的晶圆转运到空膜晶圆区、将空膜晶圆区的晶圆转运到晶圆贴芯片放置架、将晶圆芯片放置架上的贴满芯片的良品晶圆转运到满片放置区、将晶圆芯片放置架上贴满NG芯片的NG晶圆转运到NG缓存区的料盒内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华天科技(江苏)有限公司,其通讯地址为:210000 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区步月路9号-190;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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