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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119594680B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510144834.8，技术领域涉及：F26B9/06；该发明授权一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备是由钱诚;霍召军;刘青松设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备，属于晶圆生产设备技术领域。本申请的适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备，由槽体、盖体、水气供给系统和晶圆升降机构组成，晶圆升降机构上设置晶圆篮支撑架。晶圆篮支撑架中利用第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块三个支撑块和两个侧板实现了一个支撑架对两个不同尺寸的第一晶圆篮和第二晶圆篮的支撑，使得晶圆清洗生产设备直接可以适应不同尺寸的晶圆，提高设备的适应能力，同时对于晶圆篮的支撑稳定可靠。

本发明授权一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备在权利要求书中公布了：1.一种适用多尺寸晶圆处理的提升式干燥设备，其特征在于，包括： 槽体； 盖体，设置在槽体上方，能够在平移机构带动下到达或者离开所述槽体的开口，所述盖体内壁上设置有晶圆导向槽，并能够与晶圆篮内的晶圆槽相配合； 水气供给系统，用于向槽体内通入清洗用水或者向盖体内通入干燥用气体； 晶圆升降机构，用于承载晶圆篮并将晶圆带入槽体内，在干燥时，将晶圆顶入所述盖体内，所述晶圆升降机构上设置有用于支撑晶圆篮的晶圆篮支撑架； 所述晶圆篮支撑架包括： 底座； 侧板，为两个，分别位于底座的两端； 第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块，均设置在底座上位于两个所述侧板之间，且所述第三支撑块位于第一支撑块和第二支撑块之间； 所述第一支撑块上设置有第一阶梯踏面和第二阶梯踏面，所述第二支撑块上设置有第三阶梯踏面，所述第三支撑块上设置有第四阶梯踏面，第三阶梯踏面的设置高度低于第二阶梯踏面，所述第一阶梯踏面和第三阶梯踏面等高，所述第二阶梯踏面和第四阶梯踏面等高； 所述第一阶梯踏面和第三阶梯踏面用于支撑第一晶圆篮的底部且所述第二支撑块的侧面与其中一个侧板对第一晶圆篮的侧面进行限位； 所述第二阶梯踏面和第四阶梯踏面用于支撑第二晶圆篮的底部且两个所述侧板对第二晶圆篮的侧面进行限位； 第二阶梯踏面对应的第一阶梯踢面的朝向与第三阶梯踏面对应的第二阶梯踢面的朝向相反； 所述第一支撑块上具有U形凹槽，所述U形凹槽的底部为所述第一阶梯踏面； 所述底座上成型有3个安装槽，所述安装槽内安装第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块，通过安装槽可以对第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块的安装进行定位。

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